中古 NOVELLUS Sabre #9285084 を販売中

NOVELLUS Sabreは、高度なエッチングおよび蒸着アプリケーション用に設計された最先端の高性能リアクタです。革新的なプロセス設計、先端材料、インテリジェントオートメーションにより、優れたプロセス均一性、再現性、歩留まり、生産性を提供できます。この装置は、水素とアルゴンベースの誘導結合プラズマ（ICP）源に基づいており、均質で制約のないプラズマ源を提供し、最大生産スループットを提供します。ICPソースは、動的に設定されたin-situプラズマ反射計（ISPR）と組み合わされており、正確で瞬時のプラズマ測定値を取得し、エッチングおよび蒸着プロセスの正確なリアルタイム監視とフィードバックを可能にします。Sabreの革新的なプロセス設計により、最大6つのプロセスモジュールをリアクターに同時にプログラミングすることができます。これにより、単一のプロセスチャンバー内で複数のプロセスシステムを使用するのではなく、1台のマシンで複数のプロセスステップを最適化することができます。NOVELLUS Sabreは柔軟なチャンバーアーキテクチャを備えており、幅広いエッチングおよび成膜アプリケーションにカスタマイズすることができます。汎用性の高いチャンバー設計は、異なる数値開口光学系、導波管キャリア、およびプロセスシャッターを使用して、高い蒸着速度と低粒子生成を実現します。また、モジュラープロセスコントロールユニットを備えているため、主要な工具のオーバーホールなしで簡単にリアクター機械を変更およびアップグレードできます。さらに、ユーザーは高度な診断スイートと予測メンテナンス資産を活用して、モデルのパフォーマンスを把握し、稼働時間を最大化することができます。最後に、Sabreの高度な自動化機能により、ユーザーは大容量のスループットのために繰り返し可能なプロセスをプログラムすることができます。複雑なアルゴリズムを利用することで、各プロセスレシピを設計および最適化し、より高い歩留まりと生産スループットを実現し、コストとエネルギー消費を削減できます。NOVELLUS Sabreは、あらゆるエッチングおよび蒸着アプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズできる先進的な原子炉システムです。高性能プラズマソース、プロセスの柔軟性、オートメーション機能を備えたSabreは、まさに最先端のユニットで、大量の高収量の生産アプリケーションに最適です。