中古 NOVELLUS Sabre XT #9275235 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9275235
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Electro copper plating system, 8"
Ergo Cassette Loader (ECL)
ART7 Robot
Clamshell cup: POR
PPS Chuck
Hard Disk Drive (HDD) missing
Integrated frame:
(3) Plating modules
3-Phase anode chamber
(3) SRD Modules
Anneal:
(5) Anneal chambers
Temperature: 50°C - 400°C
Forming gas: H2
BROOKS AUTOMATION 4-Axis atmospheric dual-end effector robot
Front end robot: BROOKS AUTOMATION Accutran robot
CUP: Pentium
SECS/GEM: Comparability
System controller
Tool generation: SABRE-XT
(25) Wafers per cassette
Graphic User Interface (GUI)
Signal tower: (3) Colors
Host connection type: RS232 C
Mini-environment: Synetics
Desktop PC
Central Bath Reservoir: 150 liters for (3) Plating modules
Exhaust kit: Top mount
Cassette handler module:
(3) Load port stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
End effector
Wafer release with puff
Magstore 1.7.0 Robot firmware
Mapping type: Through beam
Plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3
Clamshell: Drive unit, 8"
Clamshell cup: 1 A Ceramic Cup
Clamshell cone: 196 mm Phase
Clamshell cylinder: Pressure vacuum cylinder
Anode Type: 3-Phase
Clamshell lift
Additive dosing: NowPack
Bath chemistry: Control algorithm
AE Pulse plating power supply
Post plating cell configuration: Cell 1 / 2 / 3
Edge bead removal
Wafer present sensor mount
Bath module:
(2) Florite totalizer
(3) Dosing pumps
Recirculation pump: Inverter
NESLAB HX-75 A Heat exchanger
2001 vintage.
NOVELLUS®NOVELLUS Sabre XTリアクターは、お客様が大量の材料に高収率で正確なフィルム成膜を行うことを可能にする、精密制御化学蒸着（CVD）装置です。このシステムは、半導体製造分野で最適化された薄膜蒸着用に特別に設計されています。NOVELLUS SABREXT原子炉は、低所有コスト、生産性の向上、優れた設計柔軟性、プロセス結果の一貫性など、多くの利点を提供します。このユニットは高度な制御で高精度であり、シングルチャンバーシステムとデュアルチャンバーシステムの両方を備えたフルスイートのプロセスオプションを提供します。Sabre XT原子炉のCVDプロセスは、予熱、冷却、インテリジェントセンシングなどの多くの機能と統合されています。事前加熱は、沈着が進む前に基板温度を正しく設定するために重要です。冷却機能は、沈殿後に基板が所望の温度に素早く戻されるようにするのに役立ちます。プロセスのインテリジェントなセンシングにより、機械はガスの流れを正確に検出、識別、制御することができ、フィルムの正確で均一な蒸着が保証されます。リアクターは独自のフィルターチャンバー設計を採用しており、プロセスチャンバへの粒子の導入を最小限に抑えることができます。クロスオーバーチャンバーはまた、フードに凝縮されたプロセスガスの凝縮を防ぐのに役立ちます。このツールは、複数の基板の高スループットに最適化されたマルチステッププロセスを備えています。SABREXTアセットには、多くのガス廃棄技術と互換性のある高度なプラズマソースもあります。新しいプラズマ源は、超高純度のソース・ガス、高スロットル・ガスの流れ、および高出力排気圧をサポートします。これにより、より高い蒸着率、高い電力密度、および低い有効温度が得られます。結論として、NOVELLUS®NOVELLUS Sabre XT原子炉は、半導体製造の分野でより高い歩留まりと一貫した結果を達成するのに役立つ近代的で高度なCVDモデルです。この機器は、低い所有コスト、生産性の向上、柔軟な設計機能を備えています。また、予熱、冷却、インテリジェントセンシングなどの高度な機能も備えています。フィルターチャンバーの設計と特殊なプラズマソースにより、NOVELLUS SABREXTは信頼性の高いCVDプロセスのための完全なパッケージとなります。
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