中古 NOVELLUS Sabre XT #9183435 を販売中

NOVELLUS Sabre XT Reactorは、化学蒸着（CVD）アプリケーション用の堅牢で高性能な原子炉です。高度なウェーハ加工に最適で、デバイスジオメトリの強化や要求の厳しい金属蒸着要件を備えています。NOVELLUS SABREXT Reactorは、電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマソース技術を備えた高生産性のデュアルゾーン、ホットウォールCVDシステムです。この技術は、基板サイズに依存しない均一な層と高度なドーパントプロファイルを確保するために、非常に均一なプラズマ分布を生成します。Sabre XTリアクターは、急速な成長率を保証し、迅速なプロセス設定時間を可能にします。SABREXTリアクターは、最も要求の厳しいプロセス要件を満たすように設計されており、例外的なプロセス制御と再現性のために設計されています。デュアルゾーン圧力制御、レシピベースのステアリング、分光in-situ特性評価などの高度なプロセス制御技術を誇り、最も正確で効率的なプロセス制御を可能にします。NOVELLUS Sabre XTリアクターは、従来のリアクタ設計の限界を超えたプロセス最適化を可能にすることで、高度なデバイス寸法許容度と優れた酸化物品質を実現します。スループットを損なうことなく、層の厚さ、滑らかさ、組成の均一性を例外的に制御します。さらに、NOVELLUS SABREXTは、高度で統合されたRFソースを備えたフレキシブルなデュアルエンドポイントドーピングと、タイトな制御による信頼性の高い高速熱及び光学ウェハ温度測定を提供します。これらのすべての機能により、Sabre XTリアクタは、磁気ランダムアクセスメモリ（MRAM）、動的ランダムアクセスメモリ（DRAM）、不揮発性メモリ（NVM）などの最先端アプリケーションの大量製造に最適です。したがって、SABREXTリアクターは、その最先端の機能により、高収量、高品質のCVDプロセスに理想的な選択肢です。その優れたプロセス再現性、ウェーハ処理の均一性と精度の向上により、NOVELLUS Sabre XTは試作プロジェクトにおいて高い信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。