中古 NOVELLUS Sabre XT #9146195 を販売中

NOVELLUS Sabre XTは、超大型デバイス製造業界のニーズの高まりに対応するために設計されたシングルウェハ、マルチリアクター装置です。NOVELLUS SABREXTは、IGBT、 MOSFET、 GaNなどのデバイスを使用して、最新の高度なパッケージングを含むさまざまなプロセスで、幅広いウエハサイズに最適なパフォーマンスを提供3DICます。Sabre XTは、複数の蒸着、エッチング、インプラントのプロセスを単一のツールで実行できる、特許取得済みのマルチリアクター設計を誇っています。革新的なリアクター設計により、クロスコンタミネーションなしでウェーハを並列処理し、複数の加工ツールを同時に動作させることができます。SABREXTは、1つのウェーハに高いスループットを提供するだけでなく、1つのレシピ内で複数のウェーハを処理できます。このハイブリッド製造アプローチにより、シングルウェーハ性能の柔軟性を備えたバッチ型の生産が可能になります。NOVELLUS Sabre XTには高度なマルチゾーン真空システムがあり、温度や圧力制御など、チャンバーのすべての領域で制御された環境を可能にします。この機能は、処理速度を最適化するために設計されており、複数の真空領域で汚染を低減し、ポンプダウン操作に必要な時間を最小限に抑えることができます。NOVELLUS SABREXTには、ガス圧力、ウェーハ温度、チャンバー圧力など、プロセスのあらゆる側面を監視するソフトウェアツールなど、高度な監視システムも装備されています。モニタリングにより、処理前および処理中の原子炉の状態を迅速かつ正確に評価できます。最後に、Sabre XTは、HDP、 CVD、 ALD、 PECVDなどの高度な堆積レベルに理想的なプラットフォームを提供するように設計されています。SABREXTはマルチリアクター構成により、最も要求の厳しい堆積ニーズに対応し、優れた均一性と再現性を一貫して提供します。結論として、NOVELLUS Sabre XTは、超大型デバイス製造業界のニーズを満たすように設計されています。特許取得済みのマルチリアクター設計、高度なマルチゾーン真空ユニット、および高度な監視システムにより、NOVELLUS SABREXTは幅広いアプリケーションに包括的なソリューションを提供できます。高性能なマルチリアクター蒸着機を必要とするメーカーにとって、Sabre XTは理想的なソリューションです。