中古 NOVELLUS Sabre XT #9104570 を販売中

NOVELLUS Sabre XTは、Lam Research Corporationによって設計および製造された次世代原子層蒸着（ALD）原子炉です。NOVELLUS SABREXTは、ウェーハ加工における革新的なコンセプトであり、極めて精密で均一な層に薄膜コーティングを成膜することが可能です。ALDは半導体やハイエンド光学などの高精度産業で使用されており、Sabre XTはそのために最適化されています。SABREXTのコアアーキテクチャは、プラズマ強化ALD （PEALD）設計に基づいており、今日の高度な製造環境でのユニークな課題に対応できます。この原子炉には、多段式温度制御、高い蒸着速度、および化学前駆体の配達など、さまざまなプロセス能力が装備されています。また、熱および紫外線アニーリング、スピンコーティング、溶剤アニーリングなどの標準的なプロセス要求にも対応できます。NOVELLUS Sabre XTは、正確で反復可能な堆積結果を提供するように設計されています。高精度に制御されたプラズマ源は500〜5,000ワットの範囲で、分散温度制御システムにより、ウェーハ間の正確な温度均一性を実現します。さらに、その高精度ノズルは、化学前駆体の配達を正確に制御することができます。ボトムラインに関しては、NOVELLUS SABREXTはまた、品質に妥協することなく、プロセスのサイクル時間を大幅に短縮し、スクラップを削減します。柔軟な設計と高い処理速度により、製品から市場投入までの時間を短縮できます。高度なプロセス制御システムにより、歩留まりの向上と材料コストの削減が可能になり、自動化された監視システムにより、製造時の手作業による介入が削減されます。結論として、Sabre XT ALDリアクターは、半導体および光学産業に大きな利点をもたらします。現在の市場では他のALDシステムと同様に精度と精度を提供し、製品から市場投入までの時間を短縮し、スクラップを削減し、品質に妥協することはありません。