中古 NOVELLUS Sabre XT #293713734 を販売中
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ID: 293713734
System
(5) PC:
(3) Node computers
Proteus computer
Chase computer
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
NOVELLUS Sabre XTは、プロセス環境を正確に制御するために、誘導結合プラズマ（ICP）源、反応室、および調整可能なガス供給からなる原子炉です。ICPソースは、RFエネルギーを使用して、ソースから外側に拡散するプロセスガスの複数のプラズマプルームを均等に分散して生成します。プラズマの源は非常に調節可能であり、異なるプラズマプロセスの要件を満たすように調整することができます。反応チャンバーは、ガスと圧力を迅速かつ正確に調整することができ、プロセス環境を正確に制御することができます。この原子炉は、CVD、 PECVD、プラズマエッチングなどの多くのプロセスに適しています。NOVELLUS SABREXTは柔軟で高効率な原子炉です。広い温度範囲に耐えることができ、広い温度範囲を必要とするプロセスに使用することができます。さらに、調整可能なRFフィードを使用することで、プラズマのエネルギー密度を正確に制御できます。これにより、酸化ケイ素や窒化ケイ素などの様々な材料の薄い層を基板に堆積させるプロセスが可能になります。この機能により、基板のより効率的なプラズマエッチングと洗浄が可能になります。Sabre XTリアクターには、ユーザーと機器を保護するためのさまざまな安全機能が装備されています。温度と圧力の非常に厳密な範囲内で動作するように設計されており、プロセスエラーや故障が発生した場合に迅速にシャットダウンすることができます。さらに、ガス流量センサも搭載しており、プロセス環境を素早く正確に調整できます。これにより、潜在的な有害ガスがチャンバーから迅速に除去され、害を引き起こす可能性があります。全体として、SABREXT原子炉は、多くのプラズマベースのプロセスにおいて高効率で信頼性の高い原子炉です。その調整可能なRFフィードは、プラズマのエネルギー密度を正確に制御することができ、その安全機能はさらなる安心を提供します。材料とプロセスの選択肢が多様であるため、原子炉は半導体製造に最適です。さらに、プロセス環境を迅速に再調整する機能により、プロセスが安全であり、潜在的な有害ガスのプルームがチャンバーから迅速に除去されることが保証されます。
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