中古 NOVELLUS Sabre XT #293610632 を販売中
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NOVELLUS Sabre XTは、高精度で複雑なパターンを作成する力をメーカーに提供する高度なエッチングリアクターです。NOVELLUS SABREXTは、最大制御のためのイオン爆撃の3段階を備えており、モジュール構造を持っています。1ミクロンから35ナノメートルまでの特徴サイズの構造を製造することができます。Sabre XTのツールキットは、製造メーカーがより高い精度を達成し、さまざまな複雑なエッチングプロセスを容易に実行できるように設計されています。イオン爆撃の第1段階は、3フィールドのステップ装置を使用して、基板の所望の領域をターゲットにします。特定の領域をエッチングし、フィーチャーサイズとフォームを正確に実現することで、SABREXTのユーザーがより高いコントロールを可能にし、時間経過とともにより正確な結果を得る複雑なパターンを作成することができます。イオン爆撃の第2段階は、材料の奥深くにエッチングし、350ナノメートルと1ミクロンの間の幅の特徴を作成します。このプロセスにより、製造メーカーは大量生産の基準を満たしながらも、望ましい機能精度を達成することができます。イオン爆撃の最終段階は銅エッチングで構成され、35ナノメートル未満の幅の特徴を生成することができます。銅エッチングは、完成までの時間を短縮し、より高い解像度のパターンを提供します。NOVELLUS Sabre XTにはオートメーションワークステーションと完全なソフトウェアが搭載されており、ユーザーはプロセスを自動的に監視、分析、最適化して最大の歩留まりと生産性を実現できます。高度な「ロバスティケーション」制御ユニットは、異なるフォトマスクで複数の層をエッチングする場合でも、信頼性の高い性能と再現性の高い結果をさらに保証します。全体的に、NOVELLUS SABREXTは、人間の介入を最小限に抑えて複雑なパターンを正確にエッチングする高度なエッチング炉です。イオン爆撃、高度なワークステーション、「ロバスティケーション」制御機の3段階で、製造メーカーは大量生産で高分解能パターンを達成することができます。
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