中古 NOVELLUS Sabre XT #293604340 を販売中
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NOVELLUS Sabre XTは、半導体製造における最先端の性能要件を満たすように設計されたデジタルシングルウェーハ先進原子炉です。NOVELLUSの高度なPECVD （Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition）技術を搭載し、高速かつエネルギー効率の高いウェーハ表面にコンパウンドを供給します。この原子炉は耐食性に優れた耐久性のある材料で構成されており、自己完結型の設計によりメンテナンスが簡素化され、高価な機器改造の必要性が低減されています。強力な3段階の蒸着システムは、タイトで複雑な仕様を満たすことができる蒸着プロセスを正確に制御します。NOVELLUS SABREXTの独自の多機能システムアーキテクチャには、高温プロセスをサポートする大容量の高出力RFジェネレータが含まれています。このジェネレータは、RF干渉を最小限に抑えながら、ウェーハ表面全体でプラズマ密度が一貫して維持されるように最適化されています。また、低消費電力の基板温度コントローラを備えており、迅速かつ効果的に処理需要に対応します。Sabre XTの統合設計により、特殊コーティング、フィルム、先端材料を含む幅広い製品ポートフォリオを最大限に活用できます。さらに、カバレッジ、均一性、選択性を向上させ、可能な限り最高の歩留まり率を保証します。SABREXTはまた、効率的な原子炉サイクルタイム管理を提供し、プロセス監視機能を強化し、一貫性のある再現性のある結果を保証します。さらなる効率化のために、NOVELLUS Sabre XTのシステムには自動洗浄機能が含まれており、OPS、プロセス、レシピ間の迅速かつ簡単な変換が可能です。これらの特徴は、利用可能な最も柔軟で強力な半導体原子炉の1つであり、高度な製造環境での使用に適しています。NOVELLUS SABREXTは、高い生産性と歩留まりを必要とするお客様に最適な、一貫して高性能、低所有コスト、およびサイクルタイムの削減を実現します。さらに、統合された設計と機能により、この原子炉は信頼性と心配のないものになり、信頼性が高く再現性のあるプロセス結果を得ることができます。柔軟な設計により、必要に応じてメンテナンスとアップグレードが容易になり、半導体製造プロセスが常に最適なピーク時に実行されるようになります。
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