中古 NOVELLUS Sabre Next #9384191 を販売中

NOVELLUS Sabre Nextは、デバイスの性能と機能を向上させるための要求に対応するために特別に設計された次世代の高性能PECVD炉です。これは、PECVDツールのNOVELLUSラインの最新であり、高度なメモリ、ロジック、およびRFアプリケーションのプロセスを最適化するように設計されています。Sabre Nextリアクターは、デバイスのスループットと歩留まりを向上させるために設計された多数の機能を提供します。例えば、業界をリードする2つのプロセスチャンバーを使用して、チャンバー圧力、蒸着速度、ファーストレベルの均一性など、蒸着プロセスで最も重要なパラメータの一部を精密に制御します。これにより、各デバイスのニーズに合わせてプロセスを調整でき、ウェーハ間の高度なプロセス整合性を提供します。NOVELLUS Sabre Nextは、ガスの流れ、圧力、温度などのプロセスパラメータを正確に調整することもできます。これは、正確な圧力と温度の安定性を維持しながら、一貫した安定したガスの流れを保証するポンプ制御ガス供給システムによって促進されます。これにより、プロセスを簡単に調整し、個々のデバイスアプリケーションに最適化することができます。さらに、Sabre Nextの統合されたエラー修正およびデータ追跡メカニズムにより、ユーザーは問題を迅速かつ効率的に診断およびトラブルシューティングできます。これは、システムのパフォーマンスをリアルタイムで診断できる一連のフィードバック制御アルゴリズムによって実現されます。さらに、これらのメカニズムは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を介してユーザーに利用可能であり、プロセスパラメータと結果について一目で情報を提供します。全体的に、NOVELLUS Sabre Nextは、デバイスのパフォーマンスと歩留まりを最大化するように設計された幅広い機能を備えています。カスタマイズ可能なプロセスチャンバーとエラー訂正/データ追跡メカニズムは、製造プロセスの重要な側面を高度に制御します。直感的なGUIにより、ユーザーはプロセスを監視および最適化することができます。Sabre Nextは、高度なメモリ、ロジック、およびRFアプリケーションでデバイスのパフォーマンスと機能を向上させたい組織にとって理想的なツールです。