中古 NOVELLUS Sabre Next #9281286 を販売中

NOVELLUS Sabre Nextは、さまざまな基板に1層以上の超薄型コンフォーマルフィルムを堆積させるために使用される次世代原子層成膜（ALD）原子炉です。これは、原子炉室に種を供給するために脈動ガス源を使用して行われ、基板と反応してナノメートルスケールの膜が堆積する。蒸着プロセスは非常に反復可能であり、厚さ、カバレッジ、組成を正確に制御できるフィルムの作成を可能にします。Sabre Nextリアクターは、ALD技術と高度なコンピュータシステムと効率的なエンジニアリングを組み合わせて、優れたフィルム特性と再現性を提供するプラットフォームを作成します。これには、直感的なユーザーインターフェイス制御と自動マテリアルハンドリングが含まれており、オペレータの介入を減らし、スループットを向上させます。原子炉のハウジングは、メインチャンバー、複数のガス源を持つガス供給装置、基板ホルダーなど、いくつかの部品で構成されています。原子炉内には、加熱装置、冷却装置、真空装置、排気装置もあります。NOVELLUS Sabre Nextリアクターは、特許取得済みのパルスガス供給資産を使用して堆積物を正確に制御します。このモデルは一連の磁気成分で構成されており、リアクタントパルスが特定の予測可能なパターンで移動する場を作り出します。これにより、均一な成膜が可能になり、正確で再現性のある組成が可能になります。Sabre Nextには、自動マテリアルハンドリング装置、リアルタイムプロセスモニタリング、マルチゾーンセットポイント、およびプロセスエラーのリスクを低減し、統計的プロセス制御を可能にする優れたフォールトトレランスなどの機能も含まれています。さらに、プロセスは、異なるアプリケーション要件のために簡単にスケーリングすることができます。全体として、NOVELLUS Sabre Nextは、1つ以上のナノメートルスケールのフィルムを再現可能で高品質な蒸着を提供する次世代の先進的なALD原子炉です。金属の高度な薄膜エレクトロニクス、光学、化学蒸着など、さまざまな基板や用途に適しています。