中古 NOVELLUS Sabre Next #293704428 を販売中
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NOVELLUS Sabre NeXTは、NOVELLUS Systems、 Inc。が開発した超低圧化学蒸着（CVD）原子炉です。この装置は、先端技術を使用して基板に薄膜を高度に堆積させるために設計されています。Sabre NeXTには高度なマルチソース機能があり、一度に最大8つのソースを使用できます。これにより、大きな基板上で優れた均一性を持つ複数の層を基板に正確に堆積させることができます。このプロセスは、チャンバーに供給されるガスの量と方向を正確に制御する独自のガス分配システムによって可能になります。NOVELLUS Sabre NeXTは非常に低圧メカニズムを備えているため、材料の凝縮損失を低減し、沈着速度を向上させます。これにより、粒子汚染を最小限に抑えた均一で欠陥のないフィルムの製造も保証されます。Sabre NeXT原子炉は2つの主要なチャンバーで構成されています。プレチャンバーは蒸着前駆体の溶媒蒸発と熱分解のために設計されていますが、主な蒸着チャンバは薄膜蒸着プロセス用です。プレチャンバーは溶媒の蒸発と蒸着前駆体の熱分解が起こる場所であり、メインチャンバーは最終的に薄膜が堆積する場所である。さらに、NOVELLUS Sabre NeXT原子炉は高度な温度監視と制御機能を備えており、蒸着プロセス全体で正確な基板温度を保証します。また、成膜チャンバーを迅速かつ正確に制御するための均一なパージングユニットを備えています。高度なソフトウェアにより、プロセスパラメータとレシピを簡単に変更でき、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを介して堆積レシピをすばやく調整できます。Sabre NeXTは強力で信頼性の高いCVDマシンであり、正確な制御で薄膜を堆積させるための高度な機能と最先端の技術を提供します。優れたフィルム均一性、優れたインナーウェーハおよびウェーハ間の均一性、および優れた全体的な欠陥制御を提供します。大量の製造に適したNOVELLUS Sabre NeXT原子炉は、さまざまな研究開発および産業用途に最適です。
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