中古 NOVELLUS Sabre 3D #9179871 を販売中
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ID: 9179871
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
Electro chemical deposition (ECD), 12"
Single module
Configuration:
(1) PVC-4910 (SABRE 3D Single module)
(1) KB & Athena remote
(1) Additional (Third) FOUP - 300 mm
(1) RFID Reader (3) FOUP
(1) OHV CA Head-On transmission
(1) LT Front & rear (4) colors
(1) Aligner
(1) (2) APT Duets (4910)
(1) Chemical ADM (TSV Only)
(1) EBR 4910, (2) Duets
(1) TSV Copper
(1) 8 x 0 Config 1 Ba
(1) TF10000 With heater
(4) 300 mm, 1.00 EE, 0.40 mm Cont
(4) Copper TSV process package
(4) Degasser
(1) SABRE 3D Single, 2 APT, 2 EBR/SRD
(4) Cell specific flow meters
(1) NSR 17, NSR 1087310 Pneumatic flow switch
(1) NSR 18, Tool ladder 71-299012-00
(4) 9.5A, 750W Serial
(1) NSR 1, 845-154096-001 Trough vent, ver C
(1) NSR 2, 845-211454-001,KIT,SBR-3D,Bath R
(1) NSR 3, SW CESPTC53073A, Plate, leveling F
(1) NSR 4, Blue900109 BE Robot 8 cell
(1) NSR 5,CESPTC52432A Factory int ionizer
(1) NSR 6, 845-175917-001 8c Video monitor
(4) NSR 7, SW 856-155785-001 Kit UPGRD, TR 4
(1) NSR 8, 845-192680-001 KIT,SBR-3D,1087310
(1) NSR 9, Blue900137, Aligner, vortex,300 mm
(1) NSR 10, SW, 02-414924-02, ASSY,Drip pan,P
(1) NSR 11, SW, 02-443139-02, ASSY,Drip pan
(1) NSR 12, SW, 27-403019-00, Pump DI water
(1) NSR 13, SW, 857-170700-101, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 14, SW, 857-170700-102, KIT,CNTCTR R
(1) NSR 15, SW, 856-200391-001, KIT,UPGRD,AI
(1) NSR 16, SW, 856-200391-002, KIT,UPGRD,AI
Currently installed
2015 vintage.
NOVELLUS Sabre 3Dは、化学蒸着（CVD）と原子層蒸着（ALD）という2つの重要な技術を組み合わせた画期的な半導体加工炉です。半導体の製造に使用される材料の超薄層の製造を容易にするように設計されています。この装置は、比類のない精度と蒸着プロセスの制御を提供し、サイクル時間と歩留まりに影響を与える可能性のあるその他のプロセスコストを大幅に削減します。Sabre 3Dは、CVDとALDの組み合わせを使用して、蒸着およびエッチング操作の両方に使用することにより、高速で信頼性の高い反復可能なプロセスを提供します。酸素をはじめとする様々な不活性ガスからなる高性能ガス源を利用し「、モノクロマチック」と「スーパークリーン」環境を作り出しています。これにより、表面欠陥や汚染のない超薄膜が可能になり、堆積プロセスを優れた制御が可能になります。NOVELLUS Sabre 3Dリアクターは、プラズマ発生器、チャンバー、電源の3つの基本モジュールで構成されています。プラズマ発生器は、ピロゲン性の非熱プラズマを生成するマイクロ波ユニットです。これは、基板上の薄膜の分子活性化と沈着の原因となります。チャンバーは、システムのプラズマと原子炉の部分を収容する真空密閉エンクロージャです。繰り返し可能なプロセスを維持するために、一貫したクリーンな環境を維持するように設計されています。電源ユニットは、プラズマを点火して維持するための正しい電流を提供します。Sabre 3Dリアクターは、広範な温度範囲（90°Cから500°C）を持ち、複数のプロセスに使用することができます。また、インサイト・プロセス監視のための高精度で統合された光学ユニットを含む高度なオートメーションと制御を備えています。これは、プロセスの問題を迅速に特定し、プロセス改善のための迅速なフィードバックを提供するのに役立ちます。最後に、NOVELLUS Sabre 3Dリアクターは、任意のプロセス制御マシンに簡単に接続できます。これにより、データの収集、分析、プロセスの最適化が可能になり、最大の稼働時間と歩留まりが得られます。Sabre 3Dリアクターは効率的で費用対効果が高く、信頼性と再現性に優れたデポジット特性を提供します。高容量で高品質な半導体製造に最適なソリューションです。
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