中古 NOVELLUS PVD Systems #293669939 を販売中

物理蒸着システムとしても知られるNOVELLUS PVD Systemsは、エレクトロニクスから自動車まで、さまざまな業界にとって不可欠なツールです。PVDシステムはコーティング、金属化、および電気めっきのようなさまざまなプロセスで使用されます。プロセスは、ワークの表面に金属の蒸発コーティングを適用することを含みます。表面に蒸発材料を導入するために様々な方法が使用されていますが、最も一般的なのは熱蒸発プロセスです。NOVELLUS PVDシステムは、主に優れたフィルムの均一性とプロセスの再現性を提供するように設計されています。これは、高度なコンピュータ制御システムとロボティクスによって達成されます。このシステムは、真空チャンバー、蒸気源、ターゲットを含む3つの主要部品で構成されています。真空チャンバーは、実際のプロセスが行われる場所です。ここでは、ワークを大気汚染物質から保護しながら、目的の基板温度を達成するために、環境を高真空に低減します。通常、蒸気源は真空チャンバー内に存在します。ここでは、蒸発またはスパッタリング処理は、電気アーク、ホットフィラメント、またはグロー放電によって開始されます。望ましい金属は、蒸気源の中に配置され、その原子がイオン化され、最終的に気相に放出されるまで加熱されます。この気化された材料は、ターゲット基板に凝縮します。コーティングの特性は、温度、圧力、原子フラックスの組成など、さまざまな動作条件によって決定されます。最後に、ターゲット基板は、蒸発コーティングの受信者です。これは、コーティング工程で必要とされる熱、電子、またはイオン爆撃に耐えることができる材料です。通常、ターゲット基板は非常にきれいで、耐摩耗性があり、耐食性に優れた材料で構成されています。PVDシステムは非常に汎用性が高く、ユーザーに驚くべき精度と再現性を提供します。優れた性能と信頼性により、さまざまな業界に最適です。NOVELLUS PVD Systemsがますます洗練され、より大きな制御を提供するようになるにつれて、彼らは多くの異なる仕上げやコーティングのための好ましい方法になるでしょう。