中古 NOVELLUS MB2 #9311835 を販売中

NOVELLUS MB2リアクターは、薄膜蒸着プロセスに使用される高精度の化学成膜装置です。これは、最高レベルのパフォーマンスと生産性を提供する多軸マルチステーションツールです。MB2は、シリコンウェーハ、ガラス基板、石英、プラスチックなど、さまざまな基板に対応できるように設計されています。さまざまな材料や用途で最適な結果を出すことができます。NOVELLUS MB2は、基板の位置と向きを監視し、それに応じてプロセスのパラメータを調整するために、マルチステーション、高精度の光学トラッキングシステムを使用しています。このユニットはまた、最適な結果を得るためにユーザーにフィードバックを提供します。機械は自動的にプロセス変数を調節するように基質が最も良質および一貫性と沈殿していることを保障するように設計されています。MB2には、品質監視と生産監視の両方に使用できるさまざまなプロセスおよびin situ計測ツールが装備されています。これらのツールは、表面品質、堆積の均一性、結晶構造、粒子数などの基板の特性を監視するために使用されます。これにより、プロセスの制御が向上し、高い一貫性が保証されます。NOVELLUS MB2は、単層および多層堆積物、大面積の半導体成膜、および広範囲のナノ構造など、さまざまな材料を処理するように構成することができます。これらの材料は、高性能トランジスタや半導体デバイス、高度なメモリおよびストレージデバイス、OLEDディスプレイなど、多くの用途に対応できます。MB2はプロセスの柔軟性に優れているため、さまざまなサイズ、形状、組成の基板を加工することができます。また、高度な統合を提供し、ラボ環境で他のツールと容易にインタフェースできます。NOVELLUS MB2は、アルゴン、酸素、水素、塩素、およびその他のプロセス関連のガスを含む多数のガスで動作することができます。MB2リアクターは、高精度プロセスと計測機能と堅牢で正確な光学追跡ツールを組み合わせて、最高レベルの性能と効率をユーザーに提供します。優れたプロセスとツールの統合により、NOVELLUS MB2はあらゆるラボ設定に理想的なツールであり、ユーザーはさまざまな材料やアプリケーションで一貫した結果を出すことができます。