中古 NOVELLUS Inova #9390623 を販売中

NOVELLUS Inovaリアクターは、超微粒子膜の堆積を可能にするために設計された最新の先進原子炉プラットフォームです。NOVELLUS ALETAソフトウェアを搭載した独自の統合型クローズドループ・プロセス制御装置を採用しており、蒸着プロセス全体を正確に制御できます。基板の性能を最適化するために、蒸着速度、面積均一性、フィルム応力などのフィルムパラメータを精密に定義することができる最先端のシステムです。イノバ・リアクターは、コールドカソード・トーチを利用して反応性イオン・プラズマを生成し、高周波の無線周波数源を使用して均一なイオン化ガスを供給し、高度な高性能電子衝撃源を使用してイオンの自由な流れを作り出します。マグネットホルダーを内蔵することで、静電気プロセスだけと比較して、より一貫した再現性のあるプロセスを実現できます。統合されたアクティブガス供給ユニットは、ガスの流れと組成を正確に制御することができ、フィルムの均一性と再現性を向上させることができます。NOVELLUS Inovaリアクターは、温度安定性と均一性を向上させ、フィルム品質を向上させる独自の圧力制御モジュールを備えています。高度なプロセス制御機能に加えて、Inovaリアクターはいくつかの革新的な安全プロトコルも備えています。統合された防爆センサーによって、ユーザーは部屋内の爆発性の大気から保護されます。オートシャットオフ装置は、チャンバーに潜在的な損傷を引き起こす可能性のある高圧火花を防止します。高められた部屋の保護特徴は改善された熱流管理および電力制御を含んで、より大きい熱安定性および冷却を提供します。NOVELLUS Inovaリアクターは、最も要求の厳しい堆積プロセスのニーズを満たすように設計された先進的なプラットフォームです。Inovaリアクターは、高度なプロセス制御、安全プロトコルの改善、および最適な熱安定性を提供することにより、従来のリアプラットフォームと比較して優れた結果を得ることができます。NOVELLUS Inovaリアクタを使用すると、プロセス時間の短縮、スループット率の向上、およびフィルム品質の向上で目的の結果を達成できます。