中古 NOVELLUS Inova #9284588 を販売中

NOVELLUS Inovaは、集積回路の大量生産に使用されるツールです。マルチウェーハ、高精度プラズマベースの物理蒸着（PVD）ツールで、ウェーハ製造における高度な蒸着能力を実現します。シャワーヘッドとソースハイリフト処理機能を搭載し、成膜均一性の向上、優れた厚さ制御、および高スループット性能を備えた先進的な製品成膜を可能にするように設計されています。このシステムは、シャワーヘッド、低kフィルム蒸着エンジン、低Kバックサイドドロップエンジン、ハイリフトソース、プロセスチャンバー、スクラバーなど、いくつかのコンポーネントを収容する中央ボディで構成されています。シャワーヘッドには、単一の入口といくつかの排気口を備えた混合チャンバーが含まれています。また、最適なプロセス制御を確保するために、調節可能なガスディフューザープレートと調節可能なノズルを備えています。低kフィルム蒸着エンジンは、高揚力源と連携して優れたフィルム蒸着能力を提供します。そのマルチゾーン制御技術は、さまざまな低K薄膜の正確な堆積を保証し、高い電気伝導性、機械的安定性、ピンホールやフィルム欠陥のないなどの望ましい特性を達成します。低kバックサイドのドロップエンジンは、低kバックサイドのドロップを堆積するためにシャワーヘッドと一緒に動作します。これにより、デバイスの効率的な分離が保証され、高度なリソグラフィが可能になります。高リフトソースは、プリファブリケーションおよびポストファブリケーションのプロセスを実行する責任があります。プロセスインジェクションユニットや均一調整機など、高度な機能を備えています。ハイリフトソースは高速モードで動作し、高スループット性能を確保します。工具のプロセスチャンバーには、複数のソースとプラズマトーチが装備されており、高い蒸着速度を実現しています。スクラバーはプロセスチャンバーと連携して化学汚染物質を除去し、資産が環境および健康基準を満たしていることを保証します。Inovaはウェーハの製作に最適で、優れた性能特性を持つ低K薄膜の成膜を可能にします。一度に複数のウェーハを処理できるため、スループットが向上し、頻繁に機器を交換する必要がなくなります。これにより、ダウンタイムが短縮され、生産効率が向上します。また、高精度・高信頼性を実現し、大量生産環境に最適です。