中古 NOVELLUS Inova #9272601 を販売中

NOVELLUS INOVAは、半導体産業における薄膜オプトエレクトロニクス、薄膜トランジスタ（TFT）、その他の先端材料の成膜など、スループットを最大化し、コストを削減するために設計された画期的なプラズマ強化化学蒸着炉です。Inovaプラズマソースは、シンプルで信頼性の高い設計を利用してエネルギッシュで非熱プラズマを生成する特許技術であり、幅広いプラズマパラメータと熱予算要件に調整することができます。この原子炉のユニークな設計はまた、カスタマイズ可能な粒子加速度を提供し、RFまたはDC電源で動作することができます。NOVELLUS Inovaプラズマ源は、最大6 mTorrの圧力と最大700 Cの温度で動作し、最小密度、厚さ、均一性の要件を持つデバイスを製造することができます。この原子炉には、プラズマ環境を制御するための可変周波数と温度ランピングシステムなどの追加機能も含まれています。Inovaは、特定の用途に事前に組み合わされたものを含む、ほぼすべてのガス化学で使用できます。また、バイナリおよび三次ガス化学を使用して、望ましい効果と結果を正確に制御することもできます。これにより、NOVELLUS Inovaは、精度と精度が最も重要なアプリケーションで使用することができます。独自のInovaデザインには、セルフクリーニング機能も含まれており、数分でソースブロックから化学沈殿物を取り除くことができます。これにより、ブロックが汚染物質から解放され、プロセス全体が清潔で汚染のない状態に保たれるようになります。さらに、NOVELLUS Inovaには、システム構成を特定の操作やアプリケーションにカスタマイズするために使用できる多数の機能と機能が付属しています。たとえば、ソフトウェアは定期的に更新され、すべての新機能が追加され、最も要求の厳しいアプリケーションで最適なパフォーマンスを保証します。要約すると、Inovaは革新的なプラズマ強化化学蒸着炉であり、半導体アプリケーションに最適な柔軟性、精度、精度を提供します。ユニークなデザインは、システムを特定のアプリケーションに合わせて調整するために使用できる幅広い可変周波数、温度ランピング、セルフクリーニング機能を提供します。最後に、この原子炉の信頼性が高く効率的な設計により、プロセス全体がクリーンで汚染がないため、さまざまな半導体アプリケーションに最適です。