中古 NOVELLUS Inova #9204137 を販売中

NOVELLUS INOVAは、金属加熱チャンバー、精密ガス制御装置、回転炉の3つのコア部品からなる化学蒸着（CVD）原子炉です。金属によって熱される部屋は2つのコンパートメントに分けられる半円筒状のステンレス鋼の構造です：基質の暖房のためのより低い1およびガス力、ターボポンピングシステムのための上1。暖められた部屋のより低いコンパートメントは基質の暖房の温度を制御し、変調するためのプラットホームのように機能するeチャックの電極が付いている穴があいた格子から成っています。上部コンパートメントには、化学蒸着の制御環境を提供するガスパワーおよびターボポンピングシステムがあります。Inovaリアクターの精密ガス制御ユニットは、堆積中のプロセスガスの高精度制御を提供します。基板周囲のガス分布を直接制御し、膜形成率と均一性を最適化することができます。ガス制御装置には、マスフローコントローラ、安全シャットオフバルブ、圧力トランスデューサ、計量フローバルブ、マイクロバブルフロー検出器が含まれています。被覆する基板のサイズと形状は、NOVELLUS Inova原子炉にプログラムすることができます。回転炉のソースは、基板上の軌道パターン運動を行い、所望のフィルムの均一なカバレッジが達成されることを保証します。さらに、各蒸着ガスの圧力、流量、温度を個別に制御することができ、非常に複雑で複雑な膜の堆積を可能にします。全体的に、Inovaは信頼性が高く、高精度のCVDデバイスです。成分の組み合わせと蒸着プロセスのパラメータを正確に制御する能力により、高度な薄膜の製造に最適です。半導体、ディスプレイ、マイクロエレクトロニクス、光学など幅広い用途で使用されています。また、このデバイスの拡張性と柔軟性により、研究開発目的で十分な汎用性が得られます。