中古 NOVELLUS Inova #9188675 を販売中

NOVELLUS INOVAは、基板上に薄膜や熱処理フィルムを堆積させるなど、さまざまな高温動作を処理するために設計された反応チャンバーです。真空整合性、均一な温度分布、パーティクリーニング機能、高スループットなど、効率的な基板加工に必要なすべての機能が含まれています。Inovaは、最大4インチのウェーハ基板に対応するように設計されており、最大温度定格は不活性な雰囲気で1,100°Cです。強力な低真空誘導加熱システムを備えており、熱暴走による汚染のリスクなしに急速な加熱率を実現します。さらに、堅牢な線形加熱速度制御機構により、チャンバー全体に優れた温度均一性を提供します。NOVELLUS INOVAのパーティクリーニング機能は、ターボポンプと機械式ロータリーポンプを含む複数の掃除部品と複数のフィルターを組み合わせて保証されます。チャンバー内の効果的なコンビネーションセンサーは、さらに粒子洗浄能力を高めます。Inovaは、高速サイクル時間と小さなフットプリントで優れたスループットを提供します。高度に洗練されたオペレーティングソフトウェアは、ユーザーが任意の操作シーケンスとパラメータをプログラムすることができ、大量のコンポーネントの製造を簡単な作業にします。NOVELLUS INOVAは、簡単な操作と信頼性の高いパフォーマンスに加えて、安全性と効率的なエネルギー管理のためのデュアルウォール真空チャンバー構造、ガス冷却システム、フェイルセーフ保護機構、および熱保護要素など、多くの安全機能を備えています。Inovaは広範囲の適用の非常に多目的で、信頼できる反作用の部屋です。材料加工にとって非常に貴重なツールであり、厳しい熱処理で基板を操作するための堅牢なソリューションを提供します。