中古 NOVELLUS Inova #9188671 を販売中

NOVELLUS INOVAは、AR/VR/MRディスプレイ、家電、光通信、医療光学などの精密光学コーティング用途向けに設計されたモジュラー原子層成膜（ALD）原子炉です。Inovaは、高度な光学システムの製造に必要な比類のない精度、再現性、制御（0。01ミクロンまで）を提供します。NOVELLUS Inovaは、2つの独立したプロセスゾーンで動作し、優れた基板処理のために加熱された線形運動輸送（LMT）メカニズムを使用しています。この設計により、基板を中断することなく、両方のプロセスゾーンで同時に処理することができます。特殊なプロセスエンジニアリングにより、省エネルギーと材料の最適な使用を保証し、優れた電気絶縁性を提供します。Inovaは、簡単で直感的なユーザーエクスペリエンスを容易にするために最適化されたオペレーティングソフトウェアを搭載しています。NOVELLUS Inovaには、タッチスクリーンディスプレイと、必須のプロセス監視と正確な制御のためのカスタム設計されたGUIが含まれています。システムパラメータ、堆積プロセス（それぞれ0。01ミクロンまで）、レシピと設定は、個々のユーザーの要件を満たすためにカスタマイズすることができます。イノバは、AIRESiteシステムをはじめとする幅広い先進精密技術（APT）を搭載しており、信頼性の高い欠陥のない多層薄膜やコーティング、高薄膜と超薄膜の低電力共成成膜、反応素子蒸着（ALDを含む）を可能にします。また、圧力、温度、ガスの流れ、プラズマ、光などの調整可能なプロセス制御設定を提供し、プロセスの最適化を可能にします。NOVELLUS Inovaは、汚染リスクを低減し、最適なコーティング精度を確保するために密閉されています。また、強力な散乱モジュール（またはターゲット照射モジュール）を搭載しており、より広範囲のエバネッセントおよび高透過性の光学部品で高品質のコーティングを可能にします。Inovaは取付けの容易さのために設計され、いろいろな実験室および生産の環境に適するためにカスタマイズすることができます。オプションの蒸着チャンバーアクセサリーには、囲まれたサンプルエレベーター、回転可能なボート、真空供給ユニットが含まれており、すべてが簡単に設置、構成、実験室の設定で使用できます。さらに、NOVELLUS Inovaは、強力なエンジニアリングツールとサポートツールであるNOVELLUS Service Toolkitをサポートしており、ユーザーはシステムを効率的に監視、デバッグ、保守できます。さらに、必要に応じて、NOVELLUSの専門家は、リモート診断を通じてプロセスを分析し、最適化することができます。Inovaは、精密光学フィルム製造のための高度で安全で費用対効果の高いソリューションを求めるお客様に理想的なソリューションです。