中古 NOVELLUS Inova #9178318 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9178318
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2008
PVD System, 8"
Sputter deposition
Cu Seed
Main system:
Mainframe
Transfer
Load
Aligner
Cool
Degas chamber
Loadlock
(2) LPT2000 SMIF Systems
Handler system:
3-Axis trust control ConMag II robot assy
With ceramic blade (Transfer robot)
AWC BROOKS Mag 7 robot assy
With ceramic end effector (FE Robot)
Process chambers:
Ta
Cu
DMC
Hardware:
Main power distribution
Transformer
AC Control / Generator rack
(4) 9600 Cryo compressors
Mydax chiller
Polycold
Affinity chiller
(4) Dry pumps
Missing parts:
DMC LF Generator
DMC Turbo pump
Cu Chamber water box
Cu Chamber SIOC
Ta Chamber SIOC
Degas EV block
Ta EV Block
PVD Chamber quartz lamp
Loader ion gauge
Aligner lamp
HF Match
Degas table
CIP & Upgrades:
Ta Chamber process kit: SST Process kit
Ta HCM Target: Dual coil Ta with short lip
Damaclean dome shield: Single piece
HCM Cu Target: 3/4" HCM Cu Thickwall target
ESC Chuck: Rev2
Degas stn leak chk port (Front end)
Degas flexline
PVD Chamber flexline (Ta/Cu)
PVD Chamber HCM (Ta/Cu): Metal strain relief
PVD Chamber RGA port
Loadlock ion gauge port extension
PVD Chamber condensation control (Ta/Cu)
Dual loadlocks:
Chord mapping
Cryo baffle plate
Cryo pumps: CTI CRYOGENIC 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
LL Short light curtain
PEC Cassette nests
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Wafer handler / Frontend CHM:
Robot arm: Ceramic
Cryo pumps: CTI CRYOGENIC 8" F & 4"
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Degas station:
Degas station: 4pt Mechanical clamp
AERA FC-7800CD MFC 4 argon: 1.0/20
Cool station:
Standard
AERA FC-7800CD MFC 3 Argon: 1.0/100
Stage O-ring groove size: 0.121-0.124"
Transfer module:
Cryo pump: CTI CRYOGENIC 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Robot: AWC BROOKS Mag 7
Robot end effector: Ceramic
Lid cover: Clear lid
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Damaclean module:
Cylinder source: Ceramic
Gas box: (3) Gases
RF p/s: ADVANCED ENERGY RF 10s & LF 10WC
Plasma shield: Stationary
Pump: Varian V 701 VT
Stage: Non-ESC
Shield kit: Standard DMC non ESC
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Manometer gauge: MKS Inst 627B.1TBD1B 100mT/0.1
AERA F-7800CD MFC 4 H2: 1.0/50
AERA F-7800CDMFC 1 Ar: 1.0/50
Gate valve shield sssy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Ta(N) Chamber:
Cryo pump: CTI CRYOGENIC 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Ar MFC
N2 MFC
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Manometer gauge: MKS Inst 627B.1TBD1B 100mT/0.1
Argon BSG manometer gauge: MKS Inst 750B11TCB2GA
AERA FC-7800CD MFC 3 N2: 1.0/200
AERA FC-7800CD MFC 1 Ar: 1.4/100
MKS UPC 1 Ar: 1.0/10
Shield kit:
Shield support ring, RF FF: Ceramic
RF Plug: Ceramic
Gate valve shield kit not installed
Arc sprayed SST:
Assy, anode, HCM
Shield adapter
Deposition shield
ESC Table shield
Weight clamp, RF
Bottom shield
Source:
DC p/s: CPI 36 KW
D-Coil
M-Coil
Source magnet: Array
Top magnet: Rotating
Target: Ta
ESC Power supply: TREK 684-I
Table:
Assy, table, HCM
POLYCOLD N2 Cooling lines: Vacuum-jacketed
MKS UPC
Stage: ESC With active cooling
Heat exchanger for chilled N2 exhaust
Z-Table
RF Ready
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Cu Chamber:
Cryo pump: CTI CRYOGENICS 8" F
Cryo pumps compressor: HELIX CTI 9600
Ar MFC
Convectron gauge: GRANVILLE PHILIPS 275821 Mini-convectron
Ion gauge: GRANVILLE PHILIPS 354001-YG-T Micro-ion mod
Manometer gauge: MKS inst 627B.1TBD1B 100mT/0.1
Argon BSG manometer gauge: MKS inst 750B11TCB2GA
MFC:
AERA FC-7800CD MFC 3 N2: 1.0/200
AERA FC-7800CD MFC 1 Ar: 1.4/100
MKS UPC 1 Ar: 1.0/10
Shield kit:
ESC Clamp: Grit blasted
Assy, anode, HCM: Grit blasted SST
Shield adapter: Grit blasted SST
Gate valve shield kit
Grit blasted, Non RF:
Deposition shield
ESC Table shield
Bottom shield
Source:
DC p/s: CPI 36 KW
D-Coil
M-Coil
Source magnet: Array
Top magnet: Rotating
Target: Cu
ESC Power supply: TREK 684-I
Table:
MYDAX Fluid cooling line: Vacuum-jacketed
MKS UPC
Stage: ESC With active cooling
Z-Table
Gate valve shield assy:
VAT Rectangular gate valve MONOVAT classic
With gate compl (Gate aluminum with viton seal)
Auxiliary subfab equipment:
Cu Chamber chiller: MYDAX 1-VLH7-WB
Ta Chamber chiller: POLYCOLD 152-WC-CE/S2
System DI water chiller: Affinity E series EWA-15DK-GE06CBC0 chiller
Dry pumps: EBARA EV-S20N (High efficiency pump)
Main power distribution: Cutler hammer cabinet C2/Inova
ECR: C2/Inova ECR 208 VAC, (3) racks
2008 vintage.
NOVELLUS INOVAは、NOVELLUS Systems Inc。が開発した最先端の化学蒸着（CVD）炉です。この高度なチャンバーには、半導体製造工程の優れたプロセスソリューションを提供する多数の製品が含まれています。Inovaは、今日の高度なプロセスノードとデバイス構造のフロントエンドとバックエンドの両方の生産に幅広いプロセス機能を提供するスケーラブルなプラットフォームです。NOVELLUS Inovaには、Express™とプライムという2つの異なるCVDソリューションがあります。このExpress™は、III-VやCMOS材料層のバックトリートメントなどの低温プロセスに最適なシングルウェーハ、低真空CVDソリューションで、所有コストを向上させます。さらに、Expressは微細で薄い酸化物と窒化物の層を処理することができ、高度なトランジスタの平面化と局在化によく使用され、高価な汚染のリスクを低減するのに役立ちます。2番目の製品であるPrimeは、finFETおよびFEOLプロセスに使用される超薄膜に最適なマルチウェーハ、高真空CVDシステムです。Primeの高度な温度制御技術は、粒子の発生を最小限に抑え、完璧な成膜を保証する、あらゆるロットサイズでの再現性を保証します。最先端のCVDプロセス機能を提供するほか、Inovaリアクターは業界最先端のin-situ測定およびプロセス制御機能を提供します。そのスキャン電子波長分散X線（SEM-WDX）と光学計測、ユーザー定義の測定パラメータと、リアルタイムですべての重要なプロセスパラメータの監視と制御を可能にします。これにより、エッチングまたは蒸着プロセスの最大限の最適化が可能になり、正確なプロセス制御精度が保証され、重大な寸法（CD）エラーを事実上除去できます。NOVELLUS Inovaリアクターはまた、高度な自動化とリモート監視機能を提供し、最大の稼働時間とプロセス制御を実現します。直感的なユーザーインターフェイスにより、レシピ作成と実装を自動化して業務を合理化するための効率的なプラットフォームを提供します。さらに、高度なテレメトリー機能により、リモートのトラブルシューティングと問題解決が可能になり、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。結論として、Inovaは、今日のナノメートルスケールのデバイス構造の厳格なプロセス制御要件を満たすように設計された、市場をリードする最先端の原子炉です。その機能の範囲は、ユーザーが最大のプロセス制御と稼働時間のための最新のプロセス機能と高度なオートメーション機能にアクセスすることができます。高度なIn-Situ計測機能と高度なオートメーションおよびリモート監視機能により、最大のアップタイムとプロセス制御精度を実現します。
まだレビューはありません