中古 NOVELLUS Inova #293589650 を販売中

NOVELLUS INOVAは、半導体デバイス製造に使用されるプラズマエッチング炉です。これは、無線周波数（RF）を使用して、ガスの混合物からプラズマを作成し、基板をプラズマにさらし、プラズマを使用して基板をエッチングします。原子炉は、無線周波数電力の複数のソースを持つ4チャンバー設計で構成されています。個々のチャンバーは、さまざまな種類のエッチング処理用に構成することができます。原子炉の主なチャンバーは、基板が加工のために配置されている場所です。このチャンバーはガス源に接続されており、通常は様々なガスの混合物を含むガス供給ラインです。エッチングプロセスを最適化するために、このチャンバー内のガス、圧力、温度の混合物を制御することができます。このチャンバーで作成されたプラズマは磁場によって閉じ込められ持続され、プラズマの形状を調整することができます。原子炉第2室は、独立に制御された2つのRF電源で構成されています。電源は、プラズマを調整するために周波数と振幅の両方で調整することができます。電源は、大きな均一なプラズマを作成し、維持するために使用することができます。原子炉第3室は、主室と電源の間に強い電界を作るために使用される2つの「スパークプラグ電極」で構成されています。この電界は、主室内のプラズマを形作り、操作するために使用することができます。最後に、原子炉の4番目のチャンバーは、メインチャンバー内の圧力を維持するために使用される真空システムで構成されています。エッチングが完了した後にメインチャンバーからガスを抽出し、危険物への偶発的な暴露のリスクを排除します。全体として、Inovaは高度で信頼性の高いプラズマエッチング炉であり、さまざまなエッチング処理に使用できます。個々のチャンバーは、異なるエッチングプロセス用に構成することができ、その電源を使用して大きな均一なプラズマを生成および操作することができます。さらに、真空システムは、有害物質が原子炉の外に露出しないことを保証します。