中古 NOVELLUS Inova XT #9393590 を販売中
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ID: 9393590
ウェーハサイズ: 12"
PVD System, 12"
BROOKS MAG7 Robot
NOVELLUS MC3 Module controller
PFEIFFER Turbo and controller
(3) CTI / HILEX / BROOKS Cryo pumps
(4) BROOKS FOUP Cassette wafer loaders
VAT Throttle valve and controller
ADVANCED ENERGY PDX 5000 RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500 RF Generator
MKS RF Generator
PVD Chamber
Preclean chamber
Right degas chamber
Left degas chamber
Sputter
Transfer module with dual blade
Dual brooks robot transfer
DC power supply
Qty / Part number / Make / Model / Description
(1) / PA07060 / TREK / - / Power supply
(2) / DCS80-13E / SORENSEN / - / DC Power supplies: 0-80 V, 0-13 A / 1000 W
(1) / CPW2870B10 / CPI / - / 27-251231-00 DC Sputtering power supply
(1) / 3155051-015A / ADVANCED ENERGY / RFG 5500 / M/N: 3155051-015A RF Generator
(1) / 684-1 / TREK / - / NOVELLUS R19-137359-00, 416092, ESC Power supply: 6 Phase
(1) / RPG-50 / MKS / ENI / RPG-50A / Bipolar pulsed DC Generator
(1) / 27-156757-00 / ADVANCED ENERGY / PDX 5000 / RF Generator, M/N: 3156043-204
(1) / 03-12785-00 / NOVELLUS / - / 02-128733-00 PVD Assy SIOC Controller
(1) / 02-288084-00 / NOVELLUS / - / WTS-HV Sesioc 0, Rev.A
(1) / 02-271697-00 / NOVELLUS / - / WTS-HV Sesioc 3 IXT, Rev.A
(1) / 02-266875-00 / NOVELLUS / - / 02-266875-00 4 IXT WTS HV 4
(1) / 02-253704-00 / NOVELLUS / - / ASSY MC3E Controller with Ethernet 75-261867-00
(1) / 02-257935-00 / NOVELLUS / - / MC3E Platform controller with Ethernet 79-257795-00
(2) / 651D-16202 / MKS / - / Throttle valve controllers
(1) / TMH 071 P / PFEIFFER / BALZERS / - / Turbomolecular
(1) / 02112-BA24-APN1/0022 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / 02112-BA24-APN1/0017 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0018 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0002 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-335571
(1) / 02112-BA24-APN1/0008 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0016 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0024 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / 02112-BA24-APN1/0019 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-288644
(1) / 02112-BA24-APN1/0004 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0002 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0434 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-529666
(1) / 02112-BA24-APN1/0023 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / - / PFEIFFER / TMU521P / PM P03 120H, PM P03 120 C with TC750-E74, PM C01 712, Turbo pump
(1) / - / PFEIFFER / TMU521P / PM P03 855 with TC750 Special DS15, PM C01 711, Turbo pump
(1) / - / PFEIFFER / TMH 071 P/ Turbomolecular pump with TC750-E74, PM C01 712
(1) / 8116079G001 / CTI-CRYOGENICS / - / Cryo pump, HELIX Control sputtering
(1) / 14036-PE24-0004 / VAT / - / Gate valve 14036-PE24-0004
(1) / 003-1600-25 / BROOKS / Magmatran 7 / Wafer transfer robot
(1) / 002-7090-03 / BROOKS / - / Wafer transfer robot
(1) / - / PFEIFFER / TMU 1001 P / Turbo pump PM P02 875, DN 200CF-F, 3P With TC-750 SPECIAL DS15 PMC01 711
(1) 27-265775-00 / NOVELLUS / AE Mercury 3013 Match, 3150274-009.
NOVELLUS Inova XTは、次世代デバイス製造用に設計されたマルチチャンバー半導体加工装置です。このシステムには、3つの化学的に絶縁されたチャンバーが装備されており、それぞれに異なるプロセスモジュールを備えており、あらゆるアプリケーションの特定の要件を満たすように構成することができます。優れた熱処理、エッチング、蒸着、およびクリーンなアプリケーションを備えており、すべてがクロス汚染のリスクを最小限に抑えています。Inova XTの最初のチャンバーは、堆積プロセスに専用されています。これには、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、原子層蒸着（ALD）、物理蒸着（PVD）が含まれる。このチャンバーは、ドライエッチングに化学Etch™またはスプレープロセスを使用することもできます。また、各種原料にも対応しており、誘電体、金属、バリア、立体（3D）成膜などの用途にも柔軟に使用できます。2番目と3番目のチャンバーはどちらもエッチングプロセスに使用されます。2つ目のチャンバーは、シリコン（STI/LOCOS）エッチングプロセスの浅いトレンチ分離と局所酸化のために特別に設計されています。NOVELLUS Inova XTは、粒子発生を最小限に抑えるため、幅広いプロセスガス、可変RF出力、ダイレクトダウンウェハセンシングを使用して、エッチングの深さと機能を正確に制御するように設計されています。第三のチャンバーは、イオン化クラスタービーム（ICB）とリアクティブイオンエッチング（RIE）の両方を利用してドライエッチング処理を行うためにも装備されています。複数の金属、誘電体、その他の材料に精密エッチングプロセスを提供します。Inova XTは、高度なプロセスエンジニアリングソフトウェアで高精度のプロセス制御を提供します。この自動化されたユニットは、ガスの流れ、温度、圧力、パワーレベル、およびその他のパラメータをリアルタイムで追跡できます。また、高速ターンアラウンドタイム、堅牢な制御、エラー監視、内蔵安全アラーム、および高品質の最終製品を保証する自動機械シャットダウンなどの安定性と安全機能も装備されています。全体として、NOVELLUS Inova XTは、高度な半導体加工アプリケーション向けに特別に構築された強力で信頼性の高いツールです。マルチチャンバーアーキテクチャと幅広い成膜およびエッチング機能により、幅広い用途に最適です。その高度なプロセスソフトウェアと安全機能は、最高の結果を達成するために探しているすべてのユーザーのための信頼性と経済的なソリューションになります。
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