中古 NOVELLUS Inova XT #9375328 を販売中

NOVELLUS Inova XT Reactorは、半導体マイクロデバイスの製造を可能にする次世代のリソグラフィーツールです。Inova XTは、高度なエッチングプロセスを高速で効率的かつ信頼性の高い方法で実行できる、高度に自動化されたコンピュータ制御デバイスです。この装置は、特定のデバイスおよびプロセス要件を満たすためにさまざまなプロセスを提供するように設計されています。システムは供給モジュール、ローディングモジュール、RF発電機および硬化オーブンから成っています。サプライモジュールは、反応性イオンエッチングに必要なプロセスガス、酸、クリーニングソリューションを内蔵しています。ローディングモジュールは、静電気チャックに基板を自動的にロードおよびアンロードし、基板フォーマットの高速な変更を可能にします。RFジェネレータはマイクロ波周波数を使用して反応イオンを供給し、さまざまなプロセス化学物質をエッチングおよび活性化します。硬化オーブンは、フォトレジストを治し、乾燥させ、化学物質を処理するために使用されます。NOVELLUS Inova XTは、エッチングプロセスを正確に制御し、優れたプロセス効率を実現します。このユニットは、ウェットからドライエッチングまで、幅広いエッチング処理が可能で、さまざまな化学物質や反応がサポートされています。酸素、水素、アルゴン、ICP、 ECR、 CMP、石英エッチング、フッ素エッチングなどのプロセスはすべてサポートされています。機械は個々の基質およびプロセスの必要性を満たすために合わせることができます。さらに、Inova XTは、ベローズ絶縁、チャンバーファンダイナミクス、接触対基板負荷の最小化、ガス安全基板、フィードバックプロセスなどの安全機能を備えています。自動化されたモニタは、プロセスの実行を追跡し、詳細なプロセス分析を提供します。高い収率と再現性を確保するために、NOVELLUS Inova XTは多くの高度な機能と機能を採用しています。センサインターフェースモジュール、自動キャリブレーション、マイクロコントローラ、統合インターフェイスを内蔵しています。この統合ツールにより、リアクタはエッチング工程の変化に素早く調整することができ、さまざまな基板のプロセス条件を最適化するための効果的なツールを提供します。全体として、Inova XT Reactorは精密で制御可能なエッチングプロセスを提供することができる非常に洗練された、効率的で安全なエッチング炉です。NOVELLUS Inova XTの自動化およびフィードバックメカニズムにより、迅速かつ再現可能なエッチング処理が可能になり、統合されたアセットにより高い歩留まりと再現性が保証されます。