中古 NOVELLUS Inova XT #9354273 を販売中

NOVELLUS Inova XTは、クラス最高のプロセス制御と自動化を提供する半導体ウェーハ処理炉です。業界のニーズに応えるように設計されており、生産性の高いウェーハ処理を提供し、平面化、プロセス制御、再現性を向上させます。Inova XTは高速処理のための高周波ドライブ電源を備えています。ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）技術は、より高いアスペクト比とより高いステップハイトを可能にし、様々な光電子、マイクロエレクトロニック、MEMSデバイス製造のための複雑なプロファイルを備えたマイクロストラクチャーの製造を可能にします。この原子炉には、高性能RFジェネレータ、温度コントローラ、精密なpHインジケータ、自動トレイとボトル充填システム、ロボットアームなど、さまざまなアクセサリが装備されています。ロボットアームは、原子炉へのウェーハの遠隔積み降ろしを支援し、相互汚染を最小限に抑えるのに役立ちます。NOVELLUS Inova XTは、清潔さと安全性を確保し維持する複数のモジュールとチャンバーを備えた産業環境に統合するために設計されています。プロセスの一貫性、安全性、再現性を確保する高度なプロセス制御システムが付属しています。ユーザーフレンドリーな制御システムは、メンテナンスと運用に必要なスタッフの時間を最小限に抑えます。原子炉はまた、酸化物、窒化物およびポリシリコン層の蒸着およびエッチングにおいて非常に効率的であるように設計されています。そのマルチチャンバー、ウェーハレベルのプログラム可能な環境は、窒化物、酸化物、ポリシリコンおよび多層の組み合わせで高品質の層の堆積とエッチングを可能にします。Inova XTプラットフォームは、効率的な自動化のための統合ロボットアームを備えた低コスト、低メンテナンス、プロセス互換性、再現性のあるシステムを提供します。この原子炉は、スケーラブルでモジュラーな方法で優れた表面平面化、高いプロセス再現性、優れた生産性を生み出すように設計されています。従来の手動操作とメンテナンスを排除しながら、優れたウェーハスループットを提供します。