中古 NOVELLUS Inova XT #293818927 を販売中

NOVELLUS Inova XTは、最適なプロセス再現性を維持しながら、最高レベルのエッチング性能を提供するように設計された高度なウェーハリアクターです。特に、Inova XTはシングルウェーハプラズマベースのリアクターであり、優れた精度で材料を堆積およびエッチングすることができ、生産サイクル中にデバイス形状の最高レベルの精密加工を提供します。NOVELLUS Inova XTは、高度な統合システムを使用してプロセスのバリエーションを削減します。この原子炉には、プラズマ源と高分解能プロセスチャンバーという2つの独立したモジュールが含まれています。プラズマソースモジュールは、中央に取り付けられたECR（電子サイクロトロン共鳴）源を使用して、材料を堆積しエッチングするためのプラズマを効率的に生成します。InnovusTMフィルタは、プラズマによって生成される干渉や不均一性を低減するために、ソースの周波数を特定の範囲で設定します。これにより、作成されたプラズマがより均一で予測可能で信頼性の高い性質であることが保証され、非常に反復可能な製造プロセスが保証されます。Inova XTには、正確なRF配信と独立したウェーハ位置制御の組み合わせを使用して、材料を正確に沈殿させエッチングする高度なプロセスチャンバーも含まれています。チャンバーは一連の電極またはECR源を使用して、RFエネルギーをウェーハに正確に誘導します。この精密RF納入は、高度なプロセス制御ソフトウェアと組み合わされ、エッチングおよび蒸着プロセスにおける最高レベルの精度を保証します。さらに、各プロセスチャンバーには独自に制御されたウェーハステージがあり、個々のウェーハごとに最適化されたプロセスタスクスケジューリングが可能です。NOVELLUS Inova XTは、オペレータの安全を確保するための高度な安全プロトコルも備えています。このシステムには、プラズマ密度、プロセス圧力、温度などのプロセスを監視するセンサーと排気システムが装備されています。これらのパラメータのいずれかが最大許容限度を超えた場合、システムは自動的にシャットダウンし、ファーストレートのプロセス制御と信頼性を支援します。最高レベルのプロセス再現性と安全性を提供するために、Inova XTには、精密プロセス制御ソフトウェアやRF配信システム、高度なプラズマソースフィルター、熱伝達放射の改善、高度な安全システムなど、多くのアップグレード・オプションがあります。NOVELLUS Inova XTは、要求の厳しい材料と高精度の要件を扱う製造業者にとって理想的なソリューションです。