中古 NOVELLUS Inova XT #293757055 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293757055
ウェーハサイズ: 12"
PVD System, 12"
Mainframe
EFEM
(6) Chambers
(4) AC Racks
(14) RF Racks
Power rack.
NOVELLUS INOVA XTは、大量製造や高度なプロセス技術など、幅広い用途に適した最先端の原子炉装置です。Inova XTは優れた熱特性と長いチャンバー寿命と低い振動性能と柔軟なプロセス制御を兼ね備えているため、効率と歩留まりを最大限に引き出すことができます。NOVELLUS Inova XTは、圧力容器、プラズマ源、ガス流動環境の3つの主要コンポーネントで構成されています。圧力容器は、セラミックと石英で絶縁されたステンレス鋼内容器で構成され、外部からの影響からプロセスチャンバーを保護し、効率的なプラズマ除去のために熱をトラップします。このプラズマ源は電子サイクロトロン共鳴（ECR）マイクロ波源であり、最適なプラズマ生産のためにプロセス室を効率的かつ迅速に加熱するように設計されています。ガスの流れは、複雑なチャンバー形状と低容量ガスバルブによって管理され、最適な均一性を実現します。Inova XTは、ECR（プロセス開発と最適化）、ドライエッチング、ガス相化学などの複数の方法を制御する能力を含む高度なプロセス制御を備えています。ECRチャンバージオメトリと低容量ガスバルブは、高品質の結果を得るための優れた均一性に貢献します。システムはまた、オプションのリモート監視を可能にし、クリーンルームに取り付けると、自動クリーニングを念頭に置いて設計されています。このユニットには、リアルタイムプロセス制御とチャンバ診断データを示すグラフィカルディスプレイを備えた直感的なユーザーインターフェイスが装備されており、プロセスの視覚化が容易になります。さらに、NOVELLUS Inova XTにはプロセスレシピライブラリ機能が内蔵されており、プロセスレシピを自動化し、ユーザーが生産プロセスをカスタマイズしやすくなります。全体として、Inova XTは、大量生産と高度なプロセス技術に適した信頼性の高い効率的な原子炉機械です。
まだレビューはありません