中古 NOVELLUS CONCEPT One #9377870 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One Reactorは、集積回路製造のための薄膜の電子堆積のための画期的なツールです。これは、回転、熱および化学プロセスの組み合わせを使用して、薄膜を高い速度で正確に堆積させ、生産性の向上、均一性の向上、およびフィルム特性の向上をもたらします。この原子炉は、半導体製造や化学蒸着など、さまざまな材料で薄膜蒸着を可能にするように設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONE Reactorの回転ディスクは、直径6インチまでの円筒形の水平方向の中心を備えています。回転中心にはサファイアディスクが取り付けられており、精密な薄膜蒸着が可能です。原子炉には、熱蒸着レンジ全体にわたって正確な温度を維持するために、抵抗または誘導システムのいずれかの熱源が含まれています。熱システムは乾燥するか、またはぬれて、精密な暖房か冷却と調節可能であるかもしれません。さらに、二次熱源を使用して、より高い均一性とより高い堆積率を達成することができます。この原子炉には、別の化学源または熱源と化学源の両方を利用するコンボ源である可能性のある化学源も含まれています。ケミカルソースには、ケミカルデリバリーシステムが含まれており、ケミカルプレゼンスを正確に制御し、基板のすべての領域にケミカルミックスを配信することができます。さらに、CONCEPT One Reactorは薄膜蒸着を強化するための多くの機能も提供しています。基板と望ましいフィルムに応じて、原子炉は化学および熱成分、または2つの組み合わせのために構成することができます。さらに、原子炉は、正確な堆積結果を確実にするために、自動化された正確な校正と診断を提供します。CONCEPT ONEリアクターは、薄膜材料の近代的で高速な堆積のための優れたツールです。高精度な温度と化学制御を実現し、均一性と生産性を向上させた幅広い基板加工を可能にします。