中古 NOVELLUS CONCEPT One #9300350 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス製造用途向けに設計された原子炉です。ウェーハ欠陥（表面欠陥）低減、ポリSiゲート形成、銅相互接続形成および絶縁などの要求の厳しいプロセスにおいて、比類のない精度、生産性、柔軟性を提供するために設計された成膜およびエッチング製品ラインです。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、上部負荷/アンロードチャンバー、プロセスチャンバー、および統合フロントエンドの3つのゾーンに分かれています。上の負荷/荷を下す部屋は容易な維持、アクセスおよびサービスのための装置の残りから隔離することができます。プロセスチャンバーには、ヘリコイドターボポンプと低流量トリムバルブが含まれており、複数の処理ステップを排気することなく完了することができます。統合されたフロントエンドには、高真空ゲートバルブと、制御された環境を作成するために使用されるin-situ蒸着モニターがあります。CONCEPT ONEリアクターには、高度な高周波、高出力の静電チャック（ESC）駆動システムである「CappCycle」という独自技術が搭載されています。この技術は、ガスの負荷を低減し、プラズマの安定性を向上させるために使用されます。その他の機能としては、独立したHe供給、自動ウェハレベルの圧力制御ユニット、デジタルイオンソースの高調波制御、および高信頼性のエンドオブサイクルロックアウト機があります。CONCEPT ONEリアクターは、幅広いプロセス条件にわたって優れた蒸着均一性とプロセス歩留まりを提供するように設計されています。さらに、原子炉は非常に低い熱予算を提供するように設計されており、その結果、熱損傷が最小限に抑えられ、プロセス制御が改善されています。さらに、独自のCappCycleテクノロジーにより、プロセスの再現性を高め、消耗品のコストを削減するための持続的なプラズマが可能になります。結論として、NOVELLUS CONCEPT One reactorは、高度なマイクロエレクトロニクスやその他の半導体アプリケーションに業界をリードする精度、生産性、柔軟性を提供するユニークな成膜およびエッチングツールです。CappCycleなどの高度なツールと技術は、コストを最小限に抑えながら、優れた均一性、再現性、および熱予算を提供します。