中古 NOVELLUS CONCEPT One #9299444 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、高度な半導体製造のための高度なプロセス能力を提供するために設計された次世代の高性能リアクタです。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、高いプロセス歩留まりと最適な生産性を提供するように設計されており、低熱予算、低粒子生成、均一性を備えています。CONCEPT ONEリアクターは、従来の原子炉の半分のサイズのメソスケールの容器を使用して、マイクロ電気機械構造（MEMS）技術の最新の進歩を採用しており、これまでにないレベルのスループットと精度を実現しています。CONCEPT ONEリアクターには、高度な用途に対応する真空源と二次加工チャンバーが統合されており、多彩なプロセス能力を実現しています。小型バッチや大型ウエハにも高いスループット制御が可能で、電子ビーム蒸着、化学蒸着、スパッタ蒸着など様々な蒸着技術を提供します。NOVELLUS CONCEPT Oneリアクターは、高精度の薄膜コーティングの需要に応えるため、自己完結型マルチゾーンプロセスモジュールを備えており、アスペクト比の高い成膜が可能です。ナノメートルスケールの精度で薄膜を堆積・エッチングすることが可能であり、特定のプロセス要件に対応するためにガスおよびパワーフローシステムを容易に構成することができます。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、プロセス測定の優れた均一性と精度を提供するように設計されています。その高度な測定機能には、高度な光学ベースの監視装置を使用し、最大20ナノメートルの精度の測定値を提供します。また、先進的な光学計測システムとフーリエ変換赤外分光（FTIR）ユニットを備えており、プロセス制御と診断に使用できる完全な分析機能を提供します。CONCEPT ONEリアクターには、環境マネジメントマシンが統合されており、さまざまな環境で安全かつ効率的な運転が可能です。原子炉の低熱および低電力設計は、特定の環境要件を満たすように構成することができ、その統合安全機能は、プロセス安全のための最適化されたツールを提供します。CONCEPT ONEリアクターは、半導体製造市場において前例のないプロセス能力を提供できる先進的で高性能なリアクターです。統合システム、高度な設計機能、並外れた分析機能により、最適な歩留まりと生産性を達成するための理想的なツールとなります。最先端の技術により、NOVELLUS CONCEPT One原子炉は業界に革命をもたらす運命にあります。