中古 NOVELLUS CONCEPT One #9288077 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One reactorは、先進的で需要の高いマイクロエレクトロニクス部品の製造用に設計された半導体加工ツールです。この原子炉は、広範囲にわたって均一な薄膜材料を堆積させることで、一貫した反復可能な結果をもたらすことができるのが特徴です。この装置は、特許取得済みのデュアルゾーンフローアーキテクチャなど、多くの革新的な機能により、これまで達成できなかったレベルの精度と制御をデバイス製造に提供します。このデュアルゾーンフロー設計は、ソース-マテリアルおよび不活性ガスフロー特性を正確に定義するのに役立ち、生成された薄膜と蒸着速度をより大きく制御できます。NOVELLUS CONCEPT ONEでは、成膜プロセスのさらなる洗練を図るため、原材料シャワーヘッドを内蔵した積極的に制御された超低圧力チャンバーを利用した「圧力管理システム」を搭載しています。これらの機能は、薄膜蒸着プロセスをリアルタイムで監視、監視、制御、調整することができるとともに、CONCEPT Oneが高い精度と再現性で材料を処理できることを保証します。さらに、CONCEPT ONEリアクターは、幅広い技術要件を満たすように設計されています。このユニットには、オンボード分光計や精密光放射分光計など、さまざまなin-situ診断が装備されています。これらにより、プロセスデータの現場フィードバックや、薄膜蒸着品質向上のためのプロセスパラメータの監視が可能になります。in-situ診断機能は、さまざまなソース材料の堆積パラメータを最適化するために診断を使用できるため、パフォーマンス重視の薄膜の開発にも拡張されます。これにより、プロセスの効率が向上します。最適化されたパラメータは、追加の実験を必要とせずに将来の生産作業で使用できるためです。最後に、NOVELLUS CONCEPT Oneには、蒸着プロセスの自動監視を可能にする堅牢なプロセス制御マシンがあります。これにより、最も困難で要求の厳しい電子デバイスの製造において、安全で一貫性があり、再現性があり、費用対効果の高いパフォーマンスを実現します。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、広範囲にわたって優れた均一性と均一性を有する薄膜材料の堆積のための高度で効果的で高精度なソリューションです。