中古 NOVELLUS CONCEPT One #9270391 を販売中

NOVELLUS Concepts One （NC1）装置は、NOVELLUS Systems Inc。が製造した高性能のマルチチャンバー半導体プロセス炉です。エピタキシャル酸化反応器のコンセプトシリーズの一部です。この原子炉はエピタキシャル蒸着、酸化、フォトレジスト除去など、幅広いプロセス能力を提供します。NC1は、高い均一性と再現性で半導体基板を処理するように設計されています。NC1システムは、1つのトラック上に配置された2つの反応チャンバーで構成される高度なチャンバーアーキテクチャを備えています。2つの反応チャンバーは、一般的なガス多様体と外部に露出したイオン源を介して接続されています。このユニークな配置により、複数のプロセスステップで高いレベルの制御と均一性を実現します。原子炉は、厚さ2mmまでの非常に均一な堆積層を生成し、優れたステップカバレッジを持つことができます。NC1ユニットは、Advanced Process Control （APC）ソフトウェアパッケージと呼ばれる特別な高性能ソフトウェアマシンを使用しています。APCツールは、チャンバー圧力、温度、蒸着速度、ガス流量などのプロセスパラメータを正確に制御することにより、高度なプロセス制御機能を提供します。これにより、原子炉は幅広い用途に最適化されます。NC1資産は、ガス化学および圧力の広い範囲で動作するように設計されています。これにより、高品位のシリコン、ゲルマニウム、窒化物などのコーティング工程でさまざまな材料を使用することができます。また、特殊な誘電体と酸化物の層を使用できるため、プロセスの柔軟性が向上します。この原子炉は、アングストロームの最大4万分の4（4 x 10-10）の優れた均一性と再現性を達成することができます。APCソフトウェアパッケージの柔軟性と組み合わせることで、NC1モデルは市場で最も先進的な堆積および酸化システムの1つになります。NC1装置は、高級ステンレス鋼と不活性ガス環境で構成されており、運転の安全性を高め、システムの寿命を確保するのに役立ちます。ユニットはさらに、プロセスまたは安全異常をオペレータに通知するアラームと安全インターロックのホストによって保護されています。NC1機は、高度で信頼性の高い堆積および酸化ツールです。プロセス制御、再現性、精度に優れており、幅広い高性能な半導体製造アプリケーションに最適です。