中古 NOVELLUS CONCEPT One #9268776 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、エッチングおよび蒸着アプリケーション用の半導体産業におけるユニークで革新的な原子炉です。NOVELLUS CONCEPT ONEは、RFソースによって作成された高周波プラズマと革新的な読み出し設計を備えた誘導結合コイルを使用して、材料の均一で精密なエッチングと成膜を行います。この高度な機能により、より効率的なエッチング、成膜、洗浄プロセス、およびより高い歩留まりとより信頼性の高い製品が可能になります。CONCEPT ONEは、フィードバックループを介してリンクされている2つの誘導結合独立したコイルを利用します。これにより、高品質、均一で再現性のあるエッチングと蒸着速度が得られ、より高い収率と低いプロセス収率が得られます。高い沈着率はエッチングと沈着層が均一で、優れた品質であることを保証します。2つの誘導コイルには、それぞれ独立したカソードインタフェースユニット（CIU）があります。これにより、各インダクションコイルの設定を独立して柔軟に設定でき、チューニング可能なエッチングと蒸着速度が得られます。さらに、CIUは、エッチング処理のためのプレゼント定義の設定にプログラムすることができ、精度と再現性を確保します。CONCEPT ONEのもう1つのユニークな特徴は、特許取得済みの低温落下プラズマ製造装置です。従来のシステムでは、蒸着プロセス中に高温の低下が生じる傾向があり、その結果、エッチングの均一性の問題が生じ、歩留まりを大幅に低下させる可能性があります。NOVELLUS CONCEPT ONEは、温度低下を劇的に低減し、スループットと歩留まりを向上させる低温ドロップ機構を採用しています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、プロセスの改善に加えて、半導体製造工程のメンテナンス時間も大幅に短縮します。システムはセルフモニタリングに配線されているため、事実上メンテナンスフリーです。高度なメンテナンスソフトウェアにより、エンジニアはユニットの運用領域に入ることなく診断を実行でき、ダウンタイムを削減できます。全体として、CONCEPT Oneは、エッチング、蒸着、洗浄プロセスの究極を提供し、歩留まりとプロセス時間を最小限に抑えながら、メンテナンス時間を最小限に抑えるために設計された革新的な原子炉です。低温プラズマ製造やユーザー定義設定などの高度な機能により、このマシンは半導体メーカーにとって堅牢で信頼性の高い選択肢となります。