中古 NOVELLUS CONCEPT One #9268771 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体ウェーハを加工するための高度なツールです。半導体業界における高生産性誘電エッチングおよび蒸着用途向けに設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、性能、柔軟性、コストの完璧な組み合わせです。認定された完全準拠の300mmウェーハソリューションの信頼性と費用対効果の高い生産を提供します。CONCEPT ONEリアクターは、熱的および電気的に導電性のステンレス鋼から構成されたシングルウェハプロセスチャンバーです。それは精密ガスの流れ制御および均一なプラズマ生成が装備されています。ウェーハ表面全体にわたって極めて均一な自動調整を行うために設計されており、ダイの数やウェーハの横方向に関係なく、プロセスをターゲットに留めることができます。プロセスチャンバーはまた、金属や粒子を含む汚染物質の優れたプロセス再現性と制御を提供します。この原子炉にはダイナミックガスコントロールが搭載されており、流量と温度を独立して調整することができ、毎回最適なプロセス条件を得ることができます。これにより、優れたプロセス均一性、用量コンプライアンス、サイクルタイムの短縮を実現します。CONCEPT ONEリアクターは、自動熱圧力制御（ATPC）も備えており、チャンバーが常に最良の結果を得るために正しいプロセスレベルを維持することを保証します。また、リアルタイムモニタリングおよびプロセス制御システム（PMC）も提供しており、パフォーマンスの傾向とプロセスの最適化をよりよく分析できます。この原子炉は、半導体産業のさまざまなニーズに合わせてさまざまなプロセスレシピとツールを備えています。また、プラットフォームオートメーション、ウェーハ転送、積み下ろしシステム、真空ポンプ、ガス配送システム、安全システムなど、多くの業界標準の機器および構成と互換性があります。全体として、NOVELLUS CONCEPT One reactorは、半導体ウェーハを効率的に処理するための最先端のツールです。正確なプロセス制御により、信頼性とコスト効率に優れたパフォーマンスを提供します。さらに、そのプロセスレシピとオートメーション機能は高い柔軟性を提供し、さまざまなアプリケーションに適しています。