中古 NOVELLUS CONCEPT One #9262615 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体デバイスの均一で再現性のある処理を行うために設計されたCVD（化学蒸着）原子炉です。この機械は2004年に最初に導入され、半導体および関連産業のための普及した選択になった。その特徴は、優れたプロセス再現性と低コストの動作を含みます。その後のバージョンごとにパフォーマンスが向上し、現在の設計はより高いスループットとより良いプロセス制御を提供します。NOVELLUS CONCEPT ONEの核心は、そのプロセスチャンバーです。複数のプロセスウエハを配置することを可能にする、凹凸溝付きのステンレススチールラインチャンバーです。部屋は熱的に制御され、調節可能な圧力範囲があります。また、沈殿プロセスを開始するために必要なチャンバーを即座に避難させることができる迅速な避難システムが装備されています。CONCEPT ONEには、化学蒸着プロセスを開始するために使用されるプラズマ源もあります。この源は、加熱されてプロセスチャンバーを通過するプラズマとも呼ばれるモナトミックガスを生成します。このプラズマは望ましい材料と相互作用し、材料をウェーハに渡します。このプロセスは非常に均一であり、各層は厚さが同一である。CONCEPT ONEの他の機能には、プロセス監視と制御、および統合されたデータ収集システムがあります。このデータ収集システムにより、堆積プロセスをリアルタイムで観察することができ、エンジニアはプロセス全体を最初から最後まで監視することができます。一言で言えば、NOVELLUS CONCEPT Oneは、優れた再現性とプロセス制御を提供する信頼性の高い、低コストのCVDツールです。多くのエンジニアやプロセスエンジニアがその柔軟性と優れた結果を推奨しています。これにより、半導体業界でも好評を博しています。