中古 NOVELLUS CONCEPT One #9255441 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、高性能な薄膜材料の成長を可能にする高度な化学蒸着（CVD）炉です。業界をリードするプロセス機能と高度な制御ロジックソフトウェアによる高効率生産制御を備えています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、上部チャンバーと下部チャンバーで構成されています。上部チャンバーには、高度な補償技術と放射線制御技術を使用した低圧RF/DCプラズマソースが装備されており、ウェハ表面全体で優れた均一性を提供します。下部のチャンバーには、直接蒸着用の2つの生産源が装備されています。IC、 MEMS、 LEDなどのデバイスに最適な優れた薄膜成膜が可能です。コンセプトワンは、プラズマ粉末を管理する無線周波数（RF）発電機も備えています。これは、生産の品質を効果的に制御するだけでなく、製品の収縮を最小限に抑えるのに役立ちます。真空の堅い部屋は高められた沈殿の性能およびプロダクト保護、またプロセス安定性を提供します。CONCEPT ONEは、アルミニウム、銅、窒化ケイ素、酸化ケイ素などの様々な材料を使用することができる、究極の効率とプロセス制御のために設計されています。これにより、ICおよびMEMS市場全体で厳しい要件を満たす薄膜層またはナノ構造を堆積することができます。さらに、NOVELLUS CONCEPT Oneには、沈着プロセスを強化するためのインテリジェントな温度および圧力プロファイリングシステムが付属しています。信頼できる品質の生産とプロセスに加えて、NOVELLUS CONCEPT ONEは優れたコスト効率も提供します。高度なCVD技術とプログラミング、ならびに効率的な生産管理システムが組み合わされ、費用対効果の高い薄膜蒸着をユーザーに提供します。これにより、ユーザーは高品質の生産を維持しながら、サイクルタイムと材料コストの両方を削減できます。CONCEPT ONEは、高性能な薄膜材料の成長を可能にする信頼性の高い効率的なCVD炉です。究極の効率とプロセス制御のために設計されており、高度なRF/DCプラズマソース、2つの生産ソース、および無線周波数発生器が付属しています。また、インテリジェントな温度および圧力プロファイリング機能、コスト効率、ICおよびMEMS業界で最も厳しい要件を満たす品質生産レベルを誇っています。