中古 NOVELLUS CONCEPT One #9243883 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、革新的な技術と設計を駆使した高性能シングルウェーハリアクターです。この原子炉は、優れたプロセス柔軟性、より高速なサイクルタイム、および高価なファブスペースの利用を可能にします。原子炉は、1ピースの静止チャンバーと最大10インチの6軸モーションプラットフォームで構成されています。チャンバーは、粒子の汚染のリスクがないように構築され、設計されており、静電気に基づいたPEEK壁で構成されています。この原子炉は、6。5インチのポンプと隔離されたポンピングゾーンの領域を備えており、統合されたアクティブベンチレーションを備えています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、プロセスの柔軟性に優れた高速工具交換機能を搭載しています。シングルウェーハやデュアルウェーハ処理など、さまざまな構成でスワップできます。温度の均一性はまた低い熱質量環境を保障する水冷却された版によって維持されます。CONCEPT ONEは最大1000レシピを実行することができ、そのすべてを可変、速度、精度で実行できます。CONCEPT ONEは多軸モーションプラットフォームを搭載し、堅牢で正確、信頼性の高いコントロールを備えています。強力なモーションスイートには、10軸の高速モーションモデルと、低速および高力慣性軸の構成が含まれています。各軸は最大200mm/sの線形速度と150°C/秒の回転を実現できます。これにより、装置は複数の操作を同時に実行することができ、サイクル時間を大幅に短縮し、生産性を向上させます。さらに、高価なファブスペースを最大限に活用するために、NOVELLUS CONCEPT Oneは、すべてのコンポーネントが1か所に内蔵され、接続された統合されたシステムとして設計されています。制御ユニットは、最高レベルの精度、精度、自動化を保証するように設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、高性能、柔軟性、信頼性の高いプロセスに最適な機械です。優れたプロセス柔軟性、サイクル時間の短縮、高価なファブスペースの使用率の向上を実現し、温度の均一性と優れた性能を維持します。