中古 NOVELLUS CONCEPT One #9226320 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、金属や誘電体などの基板の成膜やエッチングに使用される原子炉です。高周波容量連結プラズマ（HFCP）やモジュラーウェハレベルのプロセスモジュールなど、高度な機能を備えています。この原子炉は、高スループットの生産性、低い所有コスト、小さなフットプリントを兼ね備えているため、研究および生産アプリケーションに最適です。この原子炉は、高いスループット、堆積環境の正確な制御、および正確なプロセスレシピの優れた組み合わせを提供するように設計されています。HFCPソースは、イオン密度を高め、エッチング成分の深度を向上させ、プロセスの精度と速度を向上させます。HFCPソースは、特定のニーズに合わせてプロセスパラメータを調整する機能も提供します。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、正確な電力制御、リアクタント供給の正確な制御、蒸着環境の正確な制御を行うことで、アスペクト比の高い薄膜材料の一貫した均一な蒸着を実現します。リアクターには、モジュール式のウエハレベルのプロセスモジュールも装備されています。これにより、計測、イメージング、スプレーコーティング、成膜などのウェハレベルの動作を正確に制御し、柔軟に行うことができます。この原子炉は、Process Veinless Systems、真空伝達モジュール、ガス供給システム、可変角度コイル源など、いくつかのアクセサリとも互換性があります。リアクターの重要な特徴は、高速工具のセットアップと短いサイクル時間であり、最大の生産性を実現することです。さらに、操作が簡単で、新しいプロセスを開発する際に大きな柔軟性を提供します。CONCEPT Oneリアクターは、精度、性能、費用対効果の優れた組み合わせを提供し、さまざまな研究および生産アプリケーションに最適です。その高度な機能と柔軟性により、原子炉は信頼性が高く、再現性があり、費用対効果の高い処理と堆積を作成および実施するための理想的なツールです。