中古 NOVELLUS CONCEPT One #9222493 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、高速で高精度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）炉です。この原子炉は、複数のウェハ上で幅広い成膜、エッチング、成膜エッチングを行うように設計されています。プラズマ活性化、複数ゾーンプロセス、動的適応チューニングを使用することにより、従来の技術よりも優れた均一性とプロセス制御を提供します。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、真空チャンバー、アンテナ機器、ターボポンプ、RF発電機、スリットバルブで構成されています。真空チャンバー内では、反応ガス、水素、窒素、アルゴンがスリットバルブを介して所望の速度で反応ゾーンに導入されます。スリット弁は空気圧によって運転され、入口のガスの流れを調整するために調節することができます。高周波の無線周波数（RF）は、プロセスガスを活性化するために必要なプラズマを生成し、アンテナシステムを介して原子炉に結合されます。アンテナユニットは周波数掃引技術を使用して最適化されています。これにより、RFジェネレータはアンテナマシンの共振周波数を認識し、プロセスパラメータを正確に制御することができます。RF発電機がアンテナツールに結合されると、ターボ分子ポンプが真空チャンバー内の所望の圧力を維持するために使用されます。ポンプは、チャンバーからプロセスガス分子を除去し、チャンバー内の圧力を正確に調整することができ、プロセス中の再現性を維持するのに役立ちます。処理チャンバーでは、RFジェネレータはプロセスガス分子を励起する単色波エネルギーを生成します。励起された分子は互いに反応して基板上に薄膜を形成します。プラズマ種、プロセスガス、基板との相互作用は、DCバイアスとパルスの持続時間、およびプロセスガスの圧力、温度、流量を調整することによって正確に調整することができます。CONCEPT Oneリアクタは、プロセスの均一性を高め、ウェーハ間の変動を排除する汎用性の高い高効率な蒸着ツールです。その複数のゾーン構成とダイナミックな適応チューニングにより、正確な制御が可能になり、高度な材料の高品質の蒸着プロセスを可能にします。先進的な製品開発やプロセス開発に最適で、微細構造およびナノ構造部品の製造に使用できます。