中古 NOVELLUS CONCEPT One #9193243 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体産業に高精度な処理を提供する先進的なプラズマベースの原子炉です。この原子炉は、磁気に閉じ込められたアルゴンプラズマと自由電子レーザー光学のユニークな組み合わせを利用して、半導体デバイスを作成するための高効率で費用対効果の高い製造プロセスを作成します。この最先端の原子炉は、半導体製造用のハイテクソリューションのリーディングプロバイダーであるNOVELLUS Systems、 Inc。によって開発されました。プラズマ反応室（PRC）は、NOVELLUS CONCEPT ONE原子炉の中心である。このチャンバーは、光学窓、パワーウィンドウ、チャンバー壁など、いくつかのコンポーネントで構成されています。PRCは、アルゴンプラズマと自由電子レーザー光学のユニークな組み合わせを利用して、精密制御を提供し、処理中に再現可能な精度を確保します。アルゴンプラズマは、チャンバーの外側のソレノイドによって生成される磁場によって保持されます。プラズマが通電されると、反応種または中性種のガスモードスパッタリング源として機能し、制御とプロセスの柔軟性を高めます。光学パッケージは、回折的に局在化されたエネルギースペクトル形状を生成し、プロセス選択性を非軸および中心軸に向上させます。コンセプトワンはまた、最適なプラズマ制御を提供するために、高度な高出力RF駆動装置を備えています。この駆動システムは、プラズマ周波数と正確にマッチし、アークを避け、所望のプラズマ形状を作成するために大規模なパルス磁場を生成します。この原子炉に搭載されている高度な制御ユニットは、精密制御による信頼性と再現性の高いプロセスを保証します。このマシンは、さまざまな背景やコンポーネントの汚れなどのパラメトリックな変更を補償するように設計されています。CONCEPT ONEは、業界標準の材料と半導体加工のための構成と互換性があります。この原子炉は、RF駆動システム、光学系、プラズマ生産のユニークな組み合わせにより、優れた精度と精度でさまざまな基板や半導体材料を処理することができます。NOVELLUS CONCEPT Oneの設計は、最高品質の半導体デバイスの高歩留まり生産に最適化され、製造業者のサイクルタイムとコストを削減します。