中古 NOVELLUS CONCEPT One #9169829 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One Reactorは、ハイスループットアプリケーション向けに特別に作られた最先端の独自のウェーハ処理技術です。この誘電エッチングリアクターは、最大エッチング率、誘電選択性の向上、および最大エッチング均一性のために設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONEの主な用途には、ゲートトレンチ、浅い溝、コンタクトホールなど、高アスペクト比の機能のエッチングがあります。高度な処理技術、高いスループット設計、および熱均一性の向上により、原子炉は比類のない性能を発揮します。また、高アスペクト比システムを採用した立体シールド設計を採用し、製品品質の向上を図っています。特殊加工チャンバーは、精密なエッチング制御、高収率、および誘電体均一性の向上を可能にする、これまでにない技術の組み合わせを持っています。また、精密なガス流量制御を備えた直接注入源を備えているため、チャンバー内の任意のポイントで精密な流量のためにチャンバーをプログラムすることができます。この機能は、均一性を最大限に高め、プロセスの柔軟性と高いアスペクト比エッチングを正確に実現します。CONCEPT ONEの高いアスペクト比の特徴は、時に150：1アスペクト比まで可能なトレンチとコンタクトホールのエッチングを可能にします。これには、従来のエッチング技術よりも高いパワーと高いエッチング速度が必要です。CONCEPT ONEでは、1周波数のマイクロ波源とイオンアシストのエッチング技術を利用して、精密なエッチングの均一性と角度制御を実現しています。NOVELLUS CONCEPT ONEは、大量生産能力に準拠したオートメーションを内蔵しています。反応性流量制御およびその他のプロセスパラメータは、再現可能なプロセス結果を確保し、高い歩留まり生産率を確保するために最適化されています。ロボット操作装置は、迅速かつ正確なプロセス制御を可能にし、さらに生産効率と信頼性を高めるのに役立ちます。結論として、NOVELLUS CONCEPT ONEは、優れたエッチング速度、選択性、均一性を備えた業界をリードするウェーハ処理システムです。誘電性エッチングリアクター、自動化された制御および統合された単一周波数マイクロ波源は高いアスペクト比の設計に対応し、製品品質の向上と生産スループットの向上を可能にします。