中古 NOVELLUS CONCEPT One #9149818 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 1リアクターは、革新的な設計によって優れた性能と設備の柔軟性を提供するために設計された次世代の製造ツールです。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、高速基板冷却、優れた温度およびプロセス制御、高速基板交換、および短熱サイクルなどの機能を通じて優れた性能を提供するように設計された高温化学蒸着（CVD）システムです。この原子炉は、複数のプロセスヘッドツールや複数のプロセスチャンバーなどの機能を通じて、プロセスの柔軟性と能力を最大限に高めるように設計されており、最大4つの異なるプロセスレシピを同時に処理することができます。このユニットは、標準的なシリコン、ヒ素ガリウム、窒化物など、さまざまな材料や基板と互換性があります。この機械は、材料ごとにさまざまなプロセスパラメータを処理することもできます。CONCEPT 1つの原子炉の温度制御ツールは、各プロセスステップが最適な温度で実行されることを保証します。温度制御はサイクル中に基板の温度を監視し、高度なアルゴリズムを使用して各プロセスの温度を最適化します。さらに、アセットの広い温度範囲は、様々な堆積プロセスを可能にします。また、高速基板ローディング/冷却装置を備えており、より高速なターンアラウンドタイムで優れた結果を迅速に生成します。基板の高速読み込み/冷却機構を備えており、基板交換時間を最大60秒に短縮できます。これは、堆積の均一性を制御し、粒子の蓄積を最小限に抑えるのに役立ちます。CONCEPT ONEは、マルチチャンバー設計と直感的なユーザーインターフェースをベースとした先進的なユニットです。この機械は信頼性、柔軟性および一貫して均一な結果を提供することができます。このツールは、高いスループット率を達成し、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されており、最も困難なプロセスで要求される再現性と速度で優れたパフォーマンスを提供します。