中古 NOVELLUS CONCEPT One #9148330 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、NOVELLUS Systems、 Inc。が開発した先進的なエッチング炉です。特許取得済みのJet Immersionプロセスを備えており、反応チャンバー内のガスの流れを正確に制御し、基板上の構造を素早くエッチングするために使用されます。NOVELLUS CONCEPT ONEは、従来のエッチングイグニタの必要性を排除し、エッチング時間を最大60％短縮します。コンセプトワンは、複数のガス入力とガス排気マニホールドを備えた真空密閉チャンバーを備えています。このチャンバーにはエッチガス入口とエッチガスを効率的で均一で均一な流れに分散させるガス拡散システムが装備されています。エッチングガスはサイクロンの毛布に閉じ込められ、基板の均一なエッチングを可能にします。CONCEPT ONEは低コストのエッチングリアクターであり、経済的な費用対効果により、さまざまなエッチングプロセスを提供します。これは、ガス流量、温度、圧力、および全体的な動作条件などのエッチングプロセスを正確に制御するためのPLCコントローラを装備しています。これにより、最適なプロセス歩留まりと優れたエッチング品質を実現します。ジェット浸漬プロセスは、エッチングするエッチング領域がエッチガスで完全に覆われていることを保証し、使用されるガスの量を厳密に制御することができます。プロセスは低圧環境で行われ、エッチング時間を最大60％短縮できます。NOVELLUS CONCEPT ONEには、高度な誘電エッチングプロセスもあります。これらのプロセスは、マルチガスプラズマとダイナミックな高性能磁場を備えており、最適なエッチング品質を実現します。調整可能なRFプラズマは、より大きなプロセス制御をもたらし、継続的な変更の必要性を減らします。Concept 1には、デュアルソースプラズマオプションもあります。この機能により、より堅牢で高品質のエッチングをもたらす動的なプロセスが可能になります。デュアルソースのプラズマは、プラズマチャンバーの充電とエッチングの生産性の向上の必要性を低減します。NOVELLUS CONCEPT ONEは、迅速な反応時間、信頼性の高いプロセス、および費用対効果の高い操作を提供する理想的なエッチング炉です。幅広い産業用途に適しており、最適なプロセス歩留まりと優れたエッチング品質で基板の精密エッチングを提供します。コンセプトワンは強力で経済的なエッチングリアクターであり、ほとんどすべての業界で使用される重要なコンポーネントやデバイスの製造に不可欠です。