中古 NOVELLUS CONCEPT One #9148239 を販売中

NOVELLUS CONCEPT One
製造業者
NOVELLUS
モデル
CONCEPT One
ID: 9148239
ヴィンテージ: 1999
CVD system W CVD Teos 1999 vintage.
NOVELLUS CONCEPT ONEは、材料科学者や技術者が高性能で超均一な薄膜コーティングを作成できるように設計された先進的な化学蒸着(CVD)炉です。強力なNOVELLUS CONCEPT ONE CVDプラットフォームを搭載し、超精密温度、圧力、組成制御を提供します。これにより、コーティングの正確な組成と均一性が毎回達成されます。CONCEPT ONEシステムは、均一で安定した成膜速度と膜厚の均一性を実現します。これは、その埋め込み式ドライフィルムノズル、デュアルチャンバー設計、次世代の電気光学ヘッドなど、多くの機能によって可能になります。CONCEPT ONEの埋め込み式ドライフィルムノズルは、エッチング、成膜、スパッタリングなど、さまざまな応用プロセスに合わせて簡単に微調整できる点でユニークです。これにより、蒸着速度を効果的に調整すると同時に、超均一蒸着速度を可能にします。NOVELLUS CONCEPT ONEのデュアルチャンバー設計には2つの目的があります。まず、内部チャンバーには、蒸着プロセスの温度を制御するために使用される可変圧力環境が含まれています。これは、処理されている材料の特性に応じて、アルゴン、窒素、または空気のいずれかを使用することによって達成されます。NOVELLUS CONCEPT ONEの外部チャンバーは環境チャンバーとして機能し、ノズルの周囲に隔離された雰囲気を提供し、コーティング工程における外部環境変化の影響を低減します。これにより、結果の再現性と一貫性が得られます。コンセプトワンはまた、革新的な電気光学ヘッドを誇っています。これにより、コーティングビームが適用されているときの強度を測定および調整し、最適なビームエネルギーを使用して目的のコーティングを作成することができます。これにより、成膜速度が最適化され、コーティングの高い均一性が得られます。CONCEPT ONEは、材料科学者や技術者が高性能で超均一な薄膜コーティングを可能にする高度な化学蒸着炉です。パワフルなNOVELLUS CONCEPT One CVDプラットフォームを搭載し、超精密な温度、圧力、組成制御を提供します。また、埋め込み式ドライフィルムノズル、デュアルチャンバーデザイン、次世代の電気光学ヘッドを備えており、すべてが均一で高品質のコーティングを作成するのに効果的です。
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