中古 NOVELLUS CONCEPT One #9148238 を販売中

NOVELLUS CONCEPT半導体生産を高める画期的な新しい装置です。これは物理蒸着（PVD）リアクターで、従来のシステムと比較して制御性が向上し、プロセス精度が大幅に向上します。この原子炉の複数のチャンバー設計は、チャンバー本体、回転基板ヒーター、加熱蓋を備えており、反応全体にわたって一貫した温度を確保しています。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクタの本体には、スロットインプラテンとローダー/アンローダーからなる統合ウェーハハンドリングシステムが搭載されており、ウェーハの高速かつ正確なロードとアンロードを保証します。また、プラテンの位置制御を可能にし、正確な沈着プロセスを保証します。ロータリー基板ヒーターは、ウェーハに熱衝撃を制限するように設計されているため、プロセスの再現性が向上し、蒸着プロセスの制御が向上します。加熱された蓋は、チャンバーの熱長さにわたって4つの独立した温度ゾーンを提供します。この機能により、各ゾーンを独立して操作し、プロセスの柔軟性とウェーハの加熱を正確に管理することができます。加熱されたふたはまた部屋の内部の熱質量を著しく減らし、速く、内部温度の上昇をもたらします。コンセプトワン炉は、プラテンと基板に関連する温度の直接温度測定と制御を提供するように設計されています。これにより、より正確で再現性の高い蒸着プロセスが保証されます。この高度な制御システムにより、チャンバー圧力、スパッタ電流、RF電力、RFマッチングなどの幅広い制御パラメータも可能になります。これにより、高度なプロセス再現性と信頼性が保証されます。CONCEPT ONEリアクターは、これまでにないプロセス制御と精度を提供する非常に高度なPVDシステムです。NOVELLUS CONCEPT Oneリアクターは、複数のチャンバー設計、独立した温度ゾーン、直接温度測定、および広範囲の制御パラメータを備えており、生産ラインの効率を大幅に向上させたい人には最適です。