中古 NOVELLUS CONCEPT One #9144937 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、高度な半導体製造プロセスで使用するために設計された高速、高性能のエッチングおよび成膜炉です。最先端の技術を活用して、シリコン、ゲルマニウム、銅、アルミニウムなどの様々な材料で低コストで高品質のフィルム成膜とエッチングを実現しています。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、フットプリントを小さく維持しながら、高速でシングルウェーハ処理の広い領域を提供するユニークな設計を備えています。これにより、工場内のスペースを最も効率的に使用できます。CONCEPT ONEには、自己調整温度調節器と直流（DC）バイアスを含む高度な温度制御装置があります。この高度な温度制御システムは、さまざまな負荷下でチャンバの不安定性を低減し、熱損傷の可能性を低減します。CONCEPT ONEリアクターには、高精度の高速流量制御ユニットが搭載されています。ウェーハ表面で最も均一で反応性の高い成膜が可能です。また、高性能プラズマ発生器を備えています。このジェネレータは、薄膜を効果的にエッチングするウエハ表面に高濃度の反応種を供給するように設計されています。NOVELLUS CONCEPT 1つの原子炉には、ロードロックチャンバーと負荷/アンロード管理ツールも含まれています。このアセットにより、ウェーハの積み降ろし作業が簡素化され、工場環境での生産性と安全性が向上します。オペレータの安全のために、脱ガス、ガス噴射ライン、および安全制御も含まれています。最後に、原子炉には強力なソフトウェアユーザーインターフェイスが付属しており、装置の操作とプログラムが簡単になります。これにより、リアルタイムの監視と診断、レシピ、リモート操作と制御、データロギングなどの機能が可能になります。ユーザーインターフェイスは、システムのマルチステージのセットアップとカスタマイズもサポートしており、使いやすさを最大限に高めています。全体として、NOVELLUS CONCEPT ONEは、さまざまな材料で高品質、高精度のエッチングと蒸着のために設計された強力で信頼性の高い原子炉です。高度な温度制御ユニット、精密なフロー制御、高性能プラズマ発生器は、今日の高度な半導体製造プロセスに最適です。