中古 NOVELLUS CONCEPT One #9113371 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、薄膜の化学蒸着（CVD）用に設計された原子炉の一種です。この原子炉は最大の効率を目指して設計されており、様々なプロセスに最高の性能と生産性を提供します。SAM （Self-Assembled Monolayer）の堆積用に設計されており、シングルサイクルで最大5層の堆積が可能です。高性能バルブ、ソリューション制御装置（SCS）、高度なプロセス制御システムを備えています。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、基板温度、反応化学、沈着圧力、およびその他のパラメータを制御することができます。また、ガスや蒸気の流量を制御する高精度ガス制御システムを搭載しています。原子炉は複数の電極と電源を利用しています。この機能は、蒸着プロセスに柔軟性を提供し、ユーザーが簡単に薄膜の蒸着を最適化するために温度、溶液、圧力、ガスの流れを調整することができます。CONCEPT ONEには、熱支援CVD （TAV）、酸素補助CVD （OAV）、化学補助CVD （CAV）など、さまざまなプロセスの温度を維持する高度な温度制御ユニットがあります。温度は、チャンバー内に配置され、リアルタイムで監視される複数の熱電対によって調整されます。この機械は温度を突然転移させ、頻繁な用具の再調整および手動調節を要求する典型的な温度調節器に優秀です。CONCEPT ONEのAdvanced Solution Control Asset （SCS）は、ソリューション化学に対する比類のない制御を提供します。陽極活性化と陰極活性化の2つのコンポーネントで構成されています。陽極活性化により、基板とサンプルをポテンシャル、温度、反応時間によって再利用することができます。陰極活性化は、基質がポテンシャル、温度、反応時間によってポストサイクルされることを可能にします。このモデルは、堆積プロセスの信頼性と再現性を高めます。NOVELLUS CONCEPT 1つの原子炉は、ユーザーと原子炉の間の主要なインターフェースとして機能する高度なプロセス制御装置で設計されています。すべてのプロセスの指示と、プロセスパラメータに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。このシステムが提供する情報は、堆積プロセスを最適化するためにも使用されます。ユニットは異常を診断し、是正措置を講じ、プロセスの詳細なヒストグラムを提供することができます。上記のすべての特徴は、NOVELLUS CONCEPT ONEを化学蒸着用途に使用するための効率的で生産性の高い原子炉にするために集約されています。この機械により、ユーザーはさまざまなプロセスの蒸着パラメータを正確に制御し、プロセスを最適化し、蒸着のスループットと歩留まりを向上させることができます。その先進的な機能により、CONCEPT Oneは薄膜を堆積するための優れた原子炉です。