中古 NOVELLUS CONCEPT One #9101005 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、高性能、高スループット、低温パッシベーション、エッチングプロセスを1台の機器で実現できる画期的なリアクタです。業界で最初の製品であり、高度なロジックデバイスから高度なパッケージングにおける高アスペクト比の接触構造まで、業界で最も複雑な課題に取り組むように設計されています。NOVELLUS CONCEPT ONEリアクターは、1400°Cのホットウォール、浅いトレンチ絶縁（STI）エッチング機能、および高スループット基板処理のユニークな組み合わせで動作します。ホットウォールは、高い沈着率、熱処理の低温、および限られた化学活性を生成します。これにより、最先端のアプリケーションで新しいテクノロジーノードや改善されたデバイスの歩留まりへの迅速なジャンプが可能になります。浅いトレンチ絶縁（STI）エッチングは、チップ機能に高品質で高アスペクト比の機能をもたらすように設計されています。システムのハイスループット基板処理により、1時間あたり100以上のウェーハをパターン化できます。この高性能エッチング機能により、スループットを犠牲にすることなく、重要なアスペクト比と全体的な画質を向上させます。コンセプトワン炉の柔軟性は、テープアウトと生産雰囲気の両方で使用することもできます。VPC （Variable Pressure Chamber）ユニットは、ユーザーとチャンバー間のダイナミックなインターフェースを可能にし、環境条件のすべてのバリエーションにリアルタイムで対処し、高品質な製品を保証します。これは、基板上の真空とガスの流れをアプリケーションの外部入力にマッチさせることによって行われます。CONCEPT ONEには、高度なハイパフォーマンス機能も搭載しています。専用のセンサーアレイを使用して、プロセス監視のフィードバックとパフォーマンスのフィードバックを提供できます。これにより、アプリケーションの究極のパフォーマンスを維持するために、マシンはプロセス環境の変化に自己調整することができます。さらに、このツールの自己学習機能により、各アプリケーションのパラメータを最適化することができます。NOVELLUS CONCEPT NOVELLUS CONCEPT 1基の原子炉は、受動化とエッチング処理を新たなレベルに引き上げ、これまで以上に高品質な歩留まりを迅速に実現します。NOVELLUS CONCEPT ONEと最先端の機能により、エキサイティングな新しいパフォーマンスの可能性を実現します。