中古 NOVELLUS CONCEPT One #9096052 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、NOVELLUS Systems、 Inc。が最先端のシリコンエッチング用途向けに開発した先端技術Etch Reactorです。この原子炉には、Dynamic End Point Control （DEPC）技術が搭載されているため、エッチング速度が飛躍的に向上し、プロセス制御が向上し、オーバーレイ登録が改善され、半導体生産のプロセスが究極的に改善されます。NOVELLUS CONCEPT ONEは、特許取得済みのDEPC技術を使用して、イオンがプロセスに導入される速度を管理し、変化するエンドポイント条件に反応して、化学的に補助された反応イオンエッチング（CARE）プロセスを正確に制御することができます。この技術により、リアクターはリアルタイムでエッチングプロセスの状態を監視および評価することができ、結果としてエッチング速度が向上し、プロセス精度が向上します。CONCEPT ONEリアクターは、特許取得済みの最先端のチャンバー形状を備えており、ガスノイズを低減し、プロセスの安定性を高めます。この原子炉には、迅速かつ正確なガス供給を容易にする高速前方ガス供給システムと、滑らかなエッジとより良い異方性エッチングプロファイルを提供する独自のContactor Edgestripetが装備されています。究極のパフォーマンスを実現するために、CONCEPT ONEリアクターは、プロセス監視、プロセスおよび品質保証、プロセスデータ収集、プロセスレシピ管理など、さまざまな高度なプロセス制御オプションを使用して構成することができます。また、幅広い用途に対応する高度なプロセスレシピをサポートし、プロセスの柔軟性と制御性をさらに高めています。結論として、NOVELLUS CONCEPT Oneは、高度な半導体生産のための理想的なエッチングリアクターであり、エッチング速度の向上、プロセス制御の改善、オーバーレイ登録の改善、プロセスの安定性の向上を可能にし、半導体製造プロセスの改善に最適なツールです。