中古 NOVELLUS CONCEPT One #9096032 を販売中

NOVELLUS CONCEPT ONEは、半導体製造環境の中でウェーハをより迅速かつ効率的に処理できるように設計された次世代エッチングリアクターです。画期的なプロセス機能を備えており、製品メーカーは生産性を拡大しながらコストを削減できます。NOVELLUS CONCEPT ONEは、物理的、化学的、および生物学的なコンポーネントの新しい組み合わせを利用して、クラスで最高のエッチングレート性能を達成しています。原子炉の中核には、エッチング速度を駆動し、プロセス性能を最適化するための高度な超高密度プラズマ（UHDP）を形成する超薄膜と微細構造の革新的な組み合わせがあります。高度なエッチングプロセスは、従来のエッチングプロセスと比較して優れた精度、選択性、再現性を提供し、お客様は時間の短縮とプロセス全体の時間を短縮することができます。また、独自のロボットアーム設計により、ウェハハンドリング装置の直接的かつ正確な動作と自動ウェハ検査が可能です。この高度なウエハハンドリング機能により、プロセスを非常に厳密に制御でき、ウェハコストを大幅に削減できます。CONCEPT ONEはまた、プロセスの再現性と信頼性をさらに確保するために、均一なガス分布とガス流量制御の独自の組み合わせを備えています。この独自のガス分配システムは、高度な形状を利用して、エッチング剤とプロセスガスの均一な配送を保証し、エッチング速度とプロセス条件の迅速な最適化を可能にします。最後に、CONCEPT ONEはポストプロセッシングへの斬新なアプローチを特徴として。統合された後処理機能により、エッチングサイクルに追加のプロセスを迅速かつ簡単に組み込むことができ、クリーニングやPVD、 PVDやエッチングなどのプロセスを組み合わせることができます。この高度な後処理機能により、プロセス時間の短縮、ウェーハ品質の向上、大幅なコスト削減が可能になります。要約すると、NOVELLUS CONCEPT Oneは、高いスループット、高速サイクルタイム、および大幅なコスト削減を可能にする信頼性の高い高性能エッチングリアクターです。超高密度プラズマ、ロボットアーム、均一なガス配分、高度な後処理機能を活用することで、生産性を拡大し、進化する半導体市場で競争力を維持するために必要なツールをメーカーに提供します。